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ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
GA-013
設置機関
香川大学
設備画像
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群
メーカー名
日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener)
型番
JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto
仕様・特徴
・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ:~φ100mm
分解能:0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率:×27~5,480,000(表示倍率)
加速電圧:0.01~30kV
分析機能:EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ:~φ25mm(傾斜回転有)~φ80mm(傾斜回転無)
倍率:×10~100,000
加速電圧:5kV、10kV、15kV(3段)

イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam)

設備ID
KU-018
設置機関
九州大学
設備画像
イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 UX
仕様・特徴
FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製

走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
NI-019
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
S-4700
仕様・特徴
FE-SEM、100倍~500K倍観察、EDX分析装置付属

FE-SEM+EDX [S-4800] (FE-SEM+EDX [S-4800])

設備ID
NM-647
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [S-4800]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
S-4800
仕様・特徴
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8000] (FE-SEM+EDX [SU8000])

設備ID
NM-648
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8000
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:4インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230])

設備ID
NM-649
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8230]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8230
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:1,000k
・検出器:SE/BSE
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

卓上電子顕微鏡 [TM3000] (Tabletop SEM+EDX [TM3000])

設備ID
NM-650
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
・加速電圧: 5, 15kV ,
・検出器:BSE
・最大倍率: 10k
・最大試料サイズ:70mmΦ
・付加機能:EDX

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] (SPM [L-trace])

設備ID
NM-651
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
メーカー名
株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
L-trace
仕様・特徴
・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング

走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] (SPM [Nanoscope5])

設備ID
NM-652
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
メーカー名
ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
型番
Nanoscope5
仕様・特徴
・測定モード: Contact AFM , Tapping AFM , MFM, Liquid-phase AFM
・走査範囲:17μ または 1.3μ

表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置 (Atomic Force Microscope System for Surface Dynamics)

設備ID
NR-706
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard ULTRA Speed 2
仕様・特徴
・測定環境:大気中、液中
・最大撮影速度:10 frames/sec
・最大走査範囲:水平300μm×垂直300μm
・動作モード:コンタクトモード、ピークフォースタッピング(QIモード)、ACモード、フォースカーブマッピングモード
・温度制御範囲:室温~+300℃(高温加熱ステージ利用時)、-30~120℃(加熱冷却モジュール利用時)
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