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走査型透過X線顕微鏡 (Scanning Transmission X-ray microscopy apparatus)

設備ID
AE-009
設置機関
日本原子力研究開発機構(JAEA)
設備画像
走査型透過X線顕微鏡
メーカー名
カスタム (Home-made)
型番
なし
仕様・特徴
N, OのK吸収端, および遷移金属L2,3吸収端、希土類M4,5吸収端など、400~1900eVに吸収端のある元素の実空間2次元マッピングが可能で、場所ごとの吸収スペクトルを得ることができる。
・空間分解能:~50 nm
・試料温度:室温のみ
・検出方法:透過法のみ

高分解能3次元X線顕微鏡 (3D X-ray Microscope)

設備ID
SH-012
設置機関
信州大学
設備画像
高分解能3次元X線顕微鏡
メーカー名
ツァイス (Zeiss)
型番
Xradia 620 Versa
仕様・特徴
空間分解能500 nm 最小ボクセルサイズ40 nm
X線出力最大25 W(加速電圧30-160 kV)
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