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走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
OS-125
設置機関
大阪大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
メーカー名
株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
AFM5000/AFM5300E
仕様・特徴
【特徴】
AFM,c-AFM,STM,DFM,MFM,KFM,PRM,電流マッピング,SNDMなどが測定可能な走査型プローブ顕微鏡です。
温度制御、調湿制御機構を備えており、真空下での測定も可能です。
500mTの磁場が試料水平方向に印加可能です。
【仕様】
試料サイズ:15mmφ
温度制御:-120~300℃
調湿制御:30~70%
真空中測定:10E-4Paまで可能
磁場印加:試料水平方向に500mT

原子間力顕微鏡 (AFM)

設備ID
RO-533
設置機関
広島大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
セイコーインスツルメンツ (Seiko Instruments Inc.)
型番
SPI3800
仕様・特徴
分解能:z:0.01nm, X、Y:0.1nm,
視野:最小5nm角、最大 20μm角、

走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] (SPM [L-trace])

設備ID
NM-651
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]
メーカー名
株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
L-trace
仕様・特徴
・測定モード:コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲:水平100 x 100 um
・最大試料サイズ: 6インチφ
・付加機能:I-V測定及びマッピング

走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] (SPM [Nanoscope5])

設備ID
NM-652
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]
メーカー名
ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
型番
Nanoscope5
仕様・特徴
・測定モード: Contact AFM , Tapping AFM , MFM, Liquid-phase AFM
・走査範囲:17μ または 1.3μ

表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置 (Atomic Force Microscope System for Surface Dynamics)

設備ID
NR-706
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
表面ダイナミクス原子間力顕微鏡装置
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard ULTRA Speed 2
仕様・特徴
・測定環境:大気中、液中
・最大撮影速度:10 frames/sec
・最大走査範囲:水平300μm×垂直300μm
・動作モード:コンタクトモード、ピークフォースタッピング(QIモード)、ACモード、フォースカーブマッピングモード
・温度制御範囲:室温~+300℃(高温加熱ステージ利用時)、-30~120℃(加熱冷却モジュール利用時)

走査型プローブ顕微鏡 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
UT-861
設置機関
東京大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
型番
L-traceⅡ
仕様・特徴
□主な特長
・Z直進エラーの低減化
・S/N比向上と光ノイズ低減
・熱源抑制効果による低ドリフト化
□主な仕様
・分解能 面内0.5nm 垂直0.05nm
・試料サイズ 直径150mm厚さ12mmまで
・スキャン最大エリア90μmX90μm
□主な用途
・ 微細加工形状の評価
・ 薄膜の表面形状(粗さ)観察
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