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原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-264
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
パーク・システムズ (Park Systems)
型番
NX20
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向100µm,Z方向15µm
・試料サイズ:最大200mmφ-20mmt
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,FMM,C-AFM,ナノリソグラフィ

大面積走査プローブ顕微鏡Dimension ICON  (Large-Area Scanning Probe Microscope Dimension ICON)

設備ID
UT-863
設置機関
東京大学
設備画像
大面積走査プローブ顕微鏡Dimension ICON
メーカー名
ブルカージャパン (Bruker Japan)
型番
Dimension ICON
仕様・特徴
ステージ径φ210mm、駆動範囲150×180mm
スキャナ、光学顕微鏡範囲:90×90×10μm
測定モード:形状(コンタクト、タッピング、ピークフォースタッピング)機械特性等プローブ測定が可能(UT-861 L-TraceIIの後継機。近日中に完全置換予定)

液中原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope (AFM) in liquid)

設備ID
NM-005
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
液中原子間力顕微鏡
メーカー名
ブルカー (Bruker)
型番
NanoWizard 4 XP
仕様・特徴
【AFM測定】
・液中観察:可
・走査範囲:水平100µm、垂直15µm
・動作モード:コンタクトモード、タッピングモード、フォースカーブマッピングモード、粘弾性測定、MFM観察
【直上顕微鏡】
・観察倍率:10倍
【倒立顕微鏡】
・観察法:明視野、位相差、蛍光
・対物レンズ:10倍、40倍
【その他】
・温度制御:室温+60℃まで

走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR])

設備ID
NM-622
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
メーカー名
オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments)
型番
Jupiter XR
仕様・特徴
・用途:ナノ構造の計測
・評価・測定モード:形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等
・走査範囲:90um
・ステージ可動範囲:200mm角
・最大試料サイズ:φ8inch

パーク・システムズAFM (Park systems AFM)

設備ID
TU-319
設置機関
東北大学
設備画像
パーク・システムズAFM
メーカー名
パーク・システムズ (Park systems)
型番
NX20
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

小型原子間力顕微鏡  (Atomin Force Microscope (AFM))

設備ID
UT-859
設置機関
東京大学
設備画像
小型原子間力顕微鏡
メーカー名
日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science)
型番
SPA400+SPI4000
仕様・特徴
日立ハイテクサイエンス(旧SII社製)AFM。試料サイズ:φ35mm厚み10mm、スキャナー走査範囲:150μm×150μm(高さ5μm)、20μm×20μm(高さ1.5μm)、AFMモード、DFMモード

原子間力顕微鏡 (Atomic force microscope)

設備ID
NU-204
設置機関
名古屋大学
設備画像
原子間力顕微鏡
メーカー名
Bruker AXS (Bruker AXS)
型番
Dimension3100
仕様・特徴
・スキャン領域:XY方向 約90μm,Z方向 約6μm
・試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmT
・測定モード AFM,MFM,EFM,LFM,表面電位顕微鏡,電流像

高速液中原子間力顕微鏡 (Liquid-Enviroment High Speed AFM)

設備ID
KT-303
設置機関
京都大学
設備画像
高速液中原子間力顕微鏡
メーカー名
(株)生体分子計測研究所 (Research Institute of Biomolecule Metrology Co., Ltd.)
型番
NanoLiveVision NLV-KS
仕様・特徴
10fpsの動画観察可能な原子間力顕微鏡
・推奨凹凸高さ 30 nm以下
・試料形状例 Φ1.5mm雲母板表面に吸着
・測定環境 液中観察

走査型プローブ顕微鏡システム (Bioscience Atomic Force Microscope)

設備ID
KT-304
設置機関
京都大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡システム
メーカー名
JPKインスツルメンツ社 (JPK Instruments AG)
型番
NanoWizard III
仕様・特徴
大気中または液体中でのAFM計測
AFM測定と光学測定を同時実行可能
・NW3-XS-0ほか

走査型プローブ顕微鏡装置群 (Scanning Probe Microscope)

設備ID
KU-510
設置機関
九州大学
設備画像
走査型プローブ顕微鏡装置群
メーカー名
島津製作所、エスアイアイ・ナノテクノロジー (Shimazu, Seiko Instruments)
型番
SPM9600, SPI3800N
仕様・特徴
【SPM9600】
・分解能 水平0.2nm 垂直0.01nm
・測定モード :コンタクト、ダイナミック、位相
【環境制御型多機能走査プローブ顕微鏡:SPI3800N】
・環境:大気中、液中、真空中、ガス雰囲気
・温度制御: 自動加熱・冷却(-120~250℃)
・位相、摩擦、粘弾性、電流、etc.
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