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測長SEM (CD-SEM)

設備ID
TU-317
設置機関
東北大学
設備画像
測長SEM
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
CS4800
仕様・特徴
6、8インチは自動搬送、4インチ以下は手動搬送
計測再現性：1nm(3σ)

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