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低真空分析走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microsope (SEM))

設備ID
NR-206
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
低真空分析走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
SU6600
仕様・特徴
・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 1.2 nm(2次電子像、加速電圧30 kV)
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・低真空機能搭載

EBSD解析装置 (EBSD analyzer)

設備ID
RO-522
設置機関
広島大学
設備画像
EBSD解析装置
メーカー名
日本電子 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-7100F
仕様・特徴
【技術代行専用】
EBSD測定により試料結晶面方位、結晶粒マッピング等の結晶構造解析を行う。

ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群 (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
GA-013
設置機関
香川大学
設備画像
ショットキー電界放出形走査電子顕微鏡群
メーカー名
日本電子, 日本電子, 日本電子, ディエナー (JEOL, JEOL, JEOL, diener)
型番
JSM-IT800SHL, JCM-7000, JFC-3000FC, Femto
仕様・特徴
・JSM-IT800SHL
サンプルサイズ:~φ100mm
分解能:0.7nm(20kV)1.3nm(1kV)
倍率:×27~5,480,000(表示倍率)
加速電圧:0.01~30kV
分析機能:EDS
・JCM-7000
サンプルサイズ:~φ25mm(傾斜回転有)~φ80mm(傾斜回転無)
倍率:×10~100,000
加速電圧:5kV、10kV、15kV(3段)

イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置 (Precise Sample Preparation and Analysis System Combining Ion Beam and Electron Beam)

設備ID
KU-018
設置機関
九州大学
設備画像
イオンビーム・電子ビーム複合型精密加工分析装置
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Helios 5 UX
仕様・特徴
FIBによる電顕試料の調製、モノクロメータSEMによる形態観察、EBSDによる方位解析、自動試料作製

走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)

設備ID
NI-019
設置機関
名古屋工業大学
設備画像
走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech Science Corporation)
型番
S-4700
仕様・特徴
FE-SEM、100倍~500K倍観察、EDX分析装置付属

FE-SEM+EDX [S-4800] (FE-SEM+EDX [S-4800])

設備ID
NM-647
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [S-4800]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
S-4800
仕様・特徴
・加速電圧:0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8000] (FE-SEM+EDX [SU8000])

設備ID
NM-648
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8000
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能:1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:4インチ
・付加機能:EDX

FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230])

設備ID
NM-649
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FE-SEM+EDX [SU8230]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
SU8230
仕様・特徴
・加速電圧: 0.5~30kV ,
・最大倍率:1,000k
・検出器:SE/BSE
・分解能:0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・最大試料サイズ:6インチ
・付加機能:EDX

卓上電子顕微鏡 [TM3000] (Tabletop SEM+EDX [TM3000])

設備ID
NM-650
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
卓上電子顕微鏡 [TM3000]
メーカー名
株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
型番
TM3000
仕様・特徴
・加速電圧: 5, 15kV ,
・検出器:BSE
・最大倍率: 10k
・最大試料サイズ:70mmΦ
・付加機能:EDX

走査電子顕微鏡(SEM) (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
RO-527
設置機関
広島大学
設備画像
走査電子顕微鏡(SEM)
メーカー名
日本電子 (JEOL Ltd.)
型番
JSM-IT800
仕様・特徴
ショットキー電界放出型電子銃,10V~30kV、
最高分解能0.5nm,
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