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低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM)
- 設備ID
- JI-010
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 【遠隔利用可】
加速電圧：0.5-30kV（照射電圧0.01-20kV）
分解能：0.6nm at 15kV
EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC
走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM)
- 設備ID
- JI-011
- 設置機関
- 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- SAM670Xi
- 仕様・特徴
- 元素分析：原子番号3以上
最大加速電圧：25kV
走査電子ビーム径：15nm以下（加速電圧20kV、電流１nA）
エネルギー分析：0-3200 eV
超高真空
複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system )
- 設備ID
- SH-007
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4610F
- 仕様・特徴
- FE-SEM 加速電圧 0.1～30ｋV
FIB 分解能4nm 加速電圧 1～30kV
Cryoオプション付き ピックアップシステム付き
電界放出型走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- SH-101
- 設置機関
- 信州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5 ～ 30 kV
倍率：低倍率モード20 ～ 2,000倍
高倍率モード100 ～ 800,000倍
分析機能：EDX付
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） (Field emission-type scanning electron microscope)
- 設備ID
- TT-014
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM6500F
- 仕様・特徴
- 東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。最小描画線幅50nm
低真空分析走査電子顕微鏡 (Low vacuum analysis scanning electron microscope)
- 設備ID
- MS-202
- 設置機関
- 自然科学研究機構 分子科学研究所
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU6600
- 仕様・特徴
- ショットキー形電子銃
空間分解能1.2nm(30kV)、3.0nm(30kV)
低真空機能（10～300Pa）
EDS（EDX）（BrukerAXS社製 FQ5060/XFlash6）
200kV原子分解能走査透過分析電子顕微鏡 (200kV atomic-resolution analytical TEM/STEM)
- 設備ID
- OS-003
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子（株） (JEOL Ltd.)
- 型番
- JEM-ARM200F
- 仕様・特徴
- 加速電圧200kV、HRTEM、収差補正STEM
EDS、EELS分析機能
SEM付集束イオンビーム装置 (Focused ion beam system with SEM)
- 設備ID
- OS-102
- 設置機関
- 大阪大学
- 設備画像
- メーカー名
- カールツァイス (Carl Zeiss)
- 型番
- Nvision 40D with NPVE
- 仕様・特徴
- 【特徴】
30kVのGa+イオンによるFIB加工及び加工時のSEM観察が可能。FIBによる気相蒸着によりPtおよびSiO2による配線の修復が可能。
【仕様】
ステージサイズ：max 8 inch
Pt銃、SiO2銃装備
FE-SEMユニット, 加速電圧：30kV
検出器：InLens, SE, Esb
FIBユニット, 加速電圧：30kV
最小ビーム径：4nm
多機能分析走査電子顕微鏡 (Multi-functional analysis Scanning Electron Microsope (SEM))
- 設備ID
- NR-201
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 100 V 〜 30 kV
・分解能: 0.5 nm（2次電子像、加速電圧15 kV）
・EDS検出器搭載
・EBSD検出器搭載
・CL検出器搭載
・低真空機能搭載
超高分解能電界放出型電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- NR-205
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU9000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 500 V 〜 30 kV
・分解能: 0.4 nm（2次電子像、加速電圧30 kV）
・EDX検出器搭載
・STEM検出器搭載