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キセノンプラズマ集束イオンビーム加工・走査電子顕微鏡複合機 (Analytical plasma FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-013
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Helios 5 Hydra DualBeam
- 仕様・特徴
- イオン源4種(Xe, Ar, O, N)、SIMS分析
走査電子顕微鏡装置群 (Scanning electron microscope system)
- 設備ID
- KU-511
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズキーエンス (Hitachi High-TechKEYENCE)
- 型番
- SU9000、VE-8800
- 仕様・特徴
- 【超高分解能走査電子顕微鏡装置：SU9000】
・SEM(空間分解能0.4nm)とSTEM(空間分解能0.34nm)の高分解能同視野観察
・30kV以下の低加速観察
・コールドFE電子銃
・EDSによる高解像度元素マッピング
・含水サンプルの凍結観察個体表面における原子の分布を高分解能マッッピング
【3次元SEM画像測定解析システムVE-8800 KEYENCE】
・加速電圧0.5-20kV
・さまざまな有機／無機／複合材料表面構造解析低加速電圧観察可能(0.5 kV)
・非導電性試料でも非蒸着で観察可能
オージェ電子分光装置 (Auger electron spectroscope)
- 設備ID
- HK-202
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JAMP-9500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧:0.5～30kV、プローブ電流:10-11～2×10-7A
二次電子分解能:3nm
オージェ分析プローブ径最小:8nm
アルゴンイオンエッチング銃
EBSD測定(TSLソリューションズ ORION検出器)
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い
Spectrum investigator、Spectrum Imaging
電界放出形走査電子顕微鏡 (Field-emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- HK-302
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6500F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1kV～30kV
分析機能：EDS, EBSD
電界放出形電子プローブマイクロアナライザー (Field emission electron probe micro analyzer (FE-EPMA))
- 設備ID
- HK-303
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JXA-8530F
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：WDS
集束イオンビーム加工・観察装置 (Focused Ion Beam and Scanning Electron Microscope system(FIB-SEM))
- 設備ID
- HK-304
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JIB-4600F/HKD
- 仕様・特徴
- 加速電圧：1～30kV
分析機能：EDS、EBSD、3D観察
像分解能：5nm（30kV）
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (High resolution Field-emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- HK-404
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- Regulus8230
- 仕様・特徴
- 加速電圧：0.5～30kV
分析機能：EDS
STEM機能
試料サイズ：6インチまで
遠隔画面共有
高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 (Field emission electron microscope)
- 設備ID
- HK-625
- 設置機関
- 北海道大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6700FT
- 仕様・特徴
- 加速電圧：5-30kV
EDS機能
試料サイズ：小片～25mm角
走査型電子顕微鏡（SEM） (Scanning electron microscope (SEM))
- 設備ID
- CT-010
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM4000Plus
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：5、10、15 ｋV
・倍率：10~100,000倍
・装備オプション：EDS、UVD、カメラナビゲーションシステム
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM） (Field emission scanning electron microscope (FE-SEM))
- 設備ID
- CT-011
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7800F
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.01~30 kV
・倍率： 25~1,000,000倍
・装備オプション：EDS、STEM、BED、USD、低真空システム