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走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope)
- 設備ID
- NU-228
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S4300
- 仕様・特徴
- ・加速電圧：0.5kV～15kV
・分解能：15nm(30kV)
・倍率：～500,000
・最大試料サイズ：直径100 mm
高精度電子線描画装置 (Scanning electron microscope with add-on lithography system )
- 設備ID
- NU-249
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 サンユー電子 (JEOL Sanyu Electron)
- 型番
- JSM-7000FK SPG-724
- 仕様・特徴
- ・分解能：1.2 nm(30kV)
・倍率：×10～×1,000,000
・試料室：最大200 mm
・描画方式：ラスタースキャン方式/ブロックスキャン方式
・描画フィールド：50 µm□/100 µm□/200 µm□/500 µm□（ラスタースキャン），2,500 µm□，1ブロック＝2.5 µm□（ブロックスキャン）
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (Ultra-High Resolution Filed Emission SEM)
- 設備ID
- KT-301
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- 絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能
通常の二次電子像に加え、組成コントラスト、電位コントラストでの像取得が可能
・像分解能 1.0nm@15kV 1.4nm@1kV
・取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像
・試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下
分析走査電子顕微鏡 (Analytical Variable-Pressure Field Emission SEM)
- 設備ID
- KT-302
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- SU6600
- 仕様・特徴
- (株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600
分解能 二次電子分解能：1.2nm
反射電子分解能：3.0nm
EDX、EBSD、IRカメラ搭載
卓上顕微鏡(SEM) (Tabletop SEM)
- 設備ID
- KT-325
- 設置機関
- 京都大学
- 設備画像
- メーカー名
- (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- 簡単な操作で高倍率の表面観察ができます。低真空観察法により、帯電しやすい試料でも金属コーティングをせず、そのまま観察ができます。
・倍率 15～30,000倍
・試料最大寸法 Φ70mm
マイクロカロリーメーター高エネルギー分解能元素分析装置 (High resolution SEM with TES high energy resolution EDS)
- 設備ID
- KU-003
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス、カールツァイス (Hitachi High-Tech Science)
- 型番
- Zeiss-ULTRA55 ＋ SII-TES
- 仕様・特徴
- 超伝導転移端検出器による高感度組成・状態分析(10eV@6KeV)、SDD(150mm2)検出器による組成・状態分析
デュアルビームFIB-SEM加工装置 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-005
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- FEI Quanta 200 3D
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング
直交型FIB-SEM (3D analytical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-006
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- MI4000L
- 仕様・特徴
- 直交型FIB-SEM、3次元組織解析(3D-SEM/EDS)、EDS(150mm2 SDD検出器)による組成・状態分析
三次元走査電子顕微鏡 (3D analyltical FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-011
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Scios DualBeam
- 仕様・特徴
- 3次元組織解析
デュアルビーム微細加工電子顕微鏡 (Dual beam FIB-SEM)
- 設備ID
- KU-012
- 設置機関
- 九州大学
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Versa3D DualBeam
- 仕様・特徴
- 観察+FIB加工、マイクロサンプリング