共用設備検索結果
中分類から探す
TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 (FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens)
- 設備ID
- NM-403
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置](data/facility_item/1664506191_10.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- NX5000
- 仕様・特徴
- ・FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5-30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA
・SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1-30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA
・低加速Arイオンビーム:加速電圧0.5-2kV、最大ビーム電流20nA
走査型電子顕微鏡 (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- NM-508
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![走査型電子顕微鏡](data/facility_item/NM-508.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-7000F
- 仕様・特徴
- ・ショットキーFEG
・加速電圧: 30 kV
・分解能:1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV)
デュアルビーム加工観察装置 (Dual Beam system)
- 設備ID
- NM-509
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![デュアルビーム加工観察装置](data/facility_item/NM-509.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies)
- 型番
- NB5000
- 仕様・特徴
- ・FIB:加速電圧1~40 kV、最大電流50nA、倍率x600~
・SEM:加速電圧0.5~30kV、分解能1nm@15kV, 倍率x250~
・付属:マイクロサンプリング、STEM, EDS
FE-SEM [S-4800] (FE-SEM [S-4800])
- 設備ID
- NM-621
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM [S-4800]](data/facility_item/NM-621.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S-4800
- 仕様・特徴
- ・用途:ナノ加工・構造・材料の観察・計測
・電子銃:ZrO/W 電界放射型
・加速電圧:0.1-30kV
・2次電子像分解能:1.0nm (ノーマル:15kV),1.4nm (リターディング:1.0kV)
・試料ステージ:5軸モーター駆動
・最大試料サイズ:φ6inch
・その他:各種試料ホルダー装備
熱電子SEM (SEM)
- 設備ID
- TU-314
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![熱電子SEM](data/facility_item/1651468402_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S3700N
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~8インチ
ロードロックは4インチまで
EDX付、低真空モード付、光学画像ナビゲーション付
断面SEM (FE-SEM)
- 設備ID
- TU-315
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![断面SEM](data/facility_item/1651468422_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S5000
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片専用
インレンズ式(磁性体導入不可)
JEOL FE-SEM (JEOL FE-SEM)
- 設備ID
- TU-316
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![JEOL FE-SEM](data/facility_item/1651468444_14.jpg)
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JSM-6335F
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~4インチ
EDX付
低加速走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- TU-505
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![低加速走査電子顕微鏡](data/facility_item/1651468743_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SU-8000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃
・二次電子像分解能 1.0/1.3 nm (15/1 kV)
・EDS分析、元素マッピング
低加速高分解能走査電子顕微鏡 (Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- TU-506
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![低加速高分解能走査電子顕微鏡](data/facility_item/1651468760_14.jpg)
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- S-5500
- 仕様・特徴
- ・加速電圧 0.1 kV~30 kV FE電子銃
・二次電子像分解能 0.4/1.3 nm (30/1 kV)
低損傷走査型分析電子顕微鏡 (Low Damage Field Emission Scanning Electron Microscope)
- 設備ID
- UT-101
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
![低損傷走査型分析電子顕微鏡](data/facility_item/1651133234_14.jpg)
- メーカー名
- 日本電子株式会社 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-7500FA
- 仕様・特徴
- □ 主な特長
ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能
□ 主な仕様
・二次電子像分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
・倍率:×25~×1,000,000
・加速電圧:0.1kV~30kV