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広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 (30-200 kV Atomic resolution analytical electron microscope)

設備ID
KU-004
設置機関
九州大学
設備画像
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200CF
仕様・特徴
照射系・結像系の収差補正、EDS(100mm2 SDD2機搭載 立体角1.7sr)/EELSによる高感度組成・状態分析、加速電圧:30, 60, 80, 120, 200kV、その場観察、 加熱・冷却・電圧印加・ガス雰囲気

低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM)

設備ID
JI-010
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
低加速走査電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
Regulus8230
仕様・特徴
【遠隔利用可】
加速電圧:0.5-30kV(照射電圧0.01-20kV)
分解能:0.6nm at 15kV
EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC
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