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ハイコントラスト補助電子顕微鏡 (Conventional high contrast electron microscope)

設備ID
KU-009
設置機関
九州大学
設備画像
ハイコントラスト補助電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100HCKM
仕様・特徴
組織観察/電子解析図形収集の汎用機、加速電圧:100,120,200kV、CMOSカメラ(4K)

低温域観測型・高分解能電子顕微鏡 (Cryonenic analytical TEM)

設備ID
KU-016
設置機関
九州大学
設備画像
低温域観測型・高分解能電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM300F2
仕様・特徴
低温域での高分解能電顕観察、照射系・結像系の収差補正、EDS(158mm2 SDD) による高感度組成・状態分析電子線トモグラフィ、その場観察、電圧印加、加熱・冷却・ガス雰囲気、磁区観察、加速電圧:80, 200, 300 kV、電位・化学組成複合解析システム

電界放射型分析電子顕微鏡 (Analytical FEG-TEM)

設備ID
HK-102
設置機関
北海道大学
設備画像
電界放射型分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2010F
仕様・特徴
・加速電圧:200kV
・TEM分解能:0.23nmn
・熱電界放出電子銃
・分析機能:EDS、EELS
・遠隔観察

マルチビーム超高圧電子顕微鏡 (Multi-Beam HVEM)

設備ID
HK-103
設置機関
北海道大学
設備画像
マルチビーム超高圧電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
ARM-1300
仕様・特徴
・加速電圧:1250kV
・TEM分解能:0.12nmn
・LaB6熱電子銃
・300K、400Kイオン加速器
・ナノ秒パルスレーザー
・He-Cd CWレーザー
・フェムト秒レーザー
・CCD分光器
・遠隔観察

環境セル対応透過電子顕微鏡 (Transmission electron microscope for Environmental cell (E-TEM))

設備ID
HK-301
設置機関
北海道大学
設備画像
環境セル対応透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2010
仕様・特徴
加速電圧:200kV
分析機能:EDS
環境セル加熱ホルダー装備

収差補正走査型透過電子顕微鏡 (Cs-corrected scanning transmission electron microscope)

設備ID
HK-401
設置機関
北海道大学
設備画像
収差補正走査型透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
加速電圧:80kV,200kV
ColdFEG
EDS,EELS
大気非暴露・冷却試料ホルダー
遠隔観察

リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM)  (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )

設備ID
AT-504
設置機関
産業技術総合研究所(AIST)
設備画像
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM)
メーカー名
(1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII(現・日立ハイテクサイエンス) ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))
型番
(1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー(現・日立ハイテクサイエンス)社E-SWEEP/S-Image
仕様・特徴
(1) RSPM1

分光(赤外)原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: NEA SNOM
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光
・測定環境: 大気中
・試料サイズ:(10mm角)や厚さの制限有
・空間分解能<100nmのナノ赤外分光(Nano-FTIR)

(2) RSPM2
E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡)
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20~70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ~ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度
・液中リアルタイム測定可能(毎秒10フレーム)
前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・付帯設備
研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計(ATRのみ)、レーザードップラー干渉計(カンチレバーのばね定数校正)
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