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グロー放電分光分析装置 (Glow Discharge OpticalEmission Spectrometry)

設備ID
WS-032
設置機関
早稲田大学
設備画像
グロー放電分光分析装置
メーカー名
株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.)
型番
GDA750
仕様・特徴
軽元素(N, O, H等)の分析可能、分析範囲4mmφ以上、10mm□以上4"までのSi、ガラス基板
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