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可視－近赤外過渡吸収分光装置 (VITA) (Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer (VITA))

設備ID: AT-503

設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

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メーカー名: (1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置：産総研自主開発、(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置：産総研自主開発、(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置：産総研自主開発、(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置：産総研自主開発 ((1) Nanosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer：AIST Original, (2) Nanosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer：AIST Original, (3) Picosecond Visible/Near-Infrared Fluorescence Spectrometer：AIST Original, (4) Picosecond Visible/Near-Infrared Transient Absorption Spectrometer：AIST Original)

型番

仕様・特徴: (1) ナノ秒可視・近赤外蛍光寿命計測装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの蛍光スペクトルと蛍光寿命を測定する装置。
励起光源にレーザーダイオードやピコ秒のNd:YAGレーザーを用いており、非常に簡便に計測ができる。
寿命測定は時間相関単一光子計数法または高速オシロスコープによる直接法を用いており、弱い励起条件での計測が可能であるとともに、8桁程度の信号ダイナミックレンジのデータが取得できる。
・時間分解能:約200 ps
・励起波長:278, 342, 355, 408, 455, 532, 560, 637 nm
・測定波長範囲:350 nm～1600 nm
・測定雰囲気：-270 ℃～室温～+100 ℃

(2) ナノ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
液体、溶液、結晶、フィルムなどの過渡吸収スペクトルと減衰挙動を測定する装置。
励起光源に波長可変のTi:Sapphireレーザーを用いており、様々な測定対象に対応可能。
従来装置と比べて測定感度が高いことが特徴であり、吸光度変化として<0.001の計測が可能。
・時間分解能: 1 ns程度
・励起光: 100 fsパルス、波長240～2400 nm
・測定波長範囲: 400 nm～6000 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)

(3) ピコ秒可視蛍光寿命計測装置
この装置は、40 psの時間分解能、時間レンジ1 ～ 100 ns、400 ～ 900 nmの観測波長領域を有する、時間分解蛍光スペクトル測定装置。
固体中励起子寿命、励起子拡散長、色素分子蛍光寿命の評価が可能。
・形式: C4334-01
・励起光:100 fsパルス、波長240～800 nm
・測定雰囲気: 室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能：40 psの時間分解能時間ﾚﾝｼﾞ1～100 ns、400～900 nm

(4) ピコ秒可視・近赤外過渡吸収分光装置
200 fsの時間分解能、240 ～ 11000 nmの観測波長領域、<0.001の吸収測定精度を有する過渡吸収分光装置。
固体中キャリア寿命、界面電荷分離反応の速度・収率、励起子拡散長を評価。
・測定モード:透過・正反射・拡散反射型ﾎﾟﾝﾌﾟ-ﾌﾞﾛｰﾌﾞ法
・励起光:100～150 fsパルス、波長240～2400 nm
・測定雰囲気:室温大気中(特殊環境は要相談)
・時間分解能：200 fsの時間分解能、240～11000 nm

リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )

設備ID: AT-504

設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

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メーカー名: (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))

型番: (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image

仕様・特徴: (1) RSPM1

分光（赤外）原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: NEA SNOM
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光
・測定環境: 大気中
・試料サイズ:（10mm角）や厚さの制限有
・空間分解能<100nmのナノ赤外分光（Nano-FTIR）

(2) RSPM2
E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡)
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度
・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム）
前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・付帯設備
研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計（ATRのみ）、レーザードップラー干渉計（カンチレバーのばね定数校正）

超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM))

設備ID: AT-506

設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

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メーカー名: ・検出器：産総研自主開発・顕微鏡：JEOL (・Detector: AIST　Original ・SEM: JEOL)

型番: ・検出器：産総研自主開発・顕微鏡：JSM-IT800SHLs

仕様・特徴: 　高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。
　電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。半導体エネルギー分散型検出器、シンチレーション型反射電子検出器も搭載。試料を冷却しながらの計測も可能。大気非暴露搬送、装置内での昇華、割断、コーティングが可能。
・蛍光X線エネルギー範囲：
　40 eV-4 keV（超伝導）、200 eV- 20 keV（半導体）
・エネルギー分解能：
　～7 eV@400 eV X-ray（超伝導）、
　＜56 eV@C-Ka （半導体）
・計数率：200 kcps
・走査型電子顕微鏡：JEOL JSM-IT800SHLs
・加速器電圧範囲：10 V-30 kV
・最大サンプルサイズ：Φ100 ㎜、Φ10 ㎜（冷却時）
・2次電子最高空間分解能：0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV
・試料最低冷却温度：－190℃以下
・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能

顕微ラマン分光装置 (Raman Microscope)

設備ID: WS-020

設置機関: 早稲田大学

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メーカー名: 株式会社東京インスツルメンツ (Tokyo Instruments, Inc.)

型番: nanofinder 30

仕様・特徴: 面分解能200nm
高さ解能0.5nm
時間分解能2msの3次元イメージング可能
10cm□位
1回の測定範囲は10μm位

フーリエ変換赤外分光計 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy)

設備ID: WS-025

設置機関: 早稲田大学

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メーカー名: 日本分光株式会社 (JASCO Corporation)

型番: FT/IR-6200＋加熱ATR測定部改造

仕様・特徴: 測定波数範囲： 7800～350 cm^-1
測定波数拡張範囲： 15000～20cm^-1
表示波数範囲： 15000～0 cm^-1
波数正確さ： ±0.01 cm^-1以内（理論値）

フォトルミネッセンス測定装置 (Photoluminesence measurement system)

設備ID: IT-030

設置機関: 東京工業大学

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メーカー名: 堀場製作所 (Horiba)

型番: 顕微ＰＬ測定装置

仕様・特徴: 励起波長:640nm、1064nm、受光器:GaInAs、対物レンズ:ｘ10(NA0.26)、x100(NA0.5)

共焦点ラマン顕微鏡 (Confocal Raman microscopy)

設備ID: IT-032

設置機関: 東京工業大学

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メーカー名: WITec (WITec)

型番: alpha300R

仕様・特徴: 532 nm レーザー、グレーティング 600 g/mmおよび1800 g/mm（ブレーズ波長 500 nm）、空間分解能 350 nm（XY方向）および900 nm（Z方向）、対物レンズ 10倍・20倍・50倍・100倍、XYZ自動ステージによるラインスキャン・2次元マッピング・3次元マッピング