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円二色性分散計 （CD) (Circular dichroism spectrometer)
- 設備ID
- CT-006
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- J-820
- 仕様・特徴
- ・CD/蛍光同時測定
・測定波長範囲：163~1,100 nm
・CD分解能：0.0005 mdeg
・ペルチェ式恒温セルホルダ付
X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
- 設備ID
- BA-015
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL)
- 型番
- JPS-9010TR
- 仕様・特徴
- Mg / Al ツインアノード X 線銃
単色化 AlKα線（Ag 3d5/2 半値幅：0.65 eV）
静電半球型分光器
試料傾斜機構（0 ～ 90°）
中和電子銃・Ar イオンエッチング銃搭載
試料加熱機構（要相談）
顕微ラマン (Raman)
- 設備ID
- BA-020
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- NRS-5100
- 仕様・特徴
- 分光器；収差補正型ツェルニターナ配置モノクロメータ
焦点距離；f=300mm
測定端数範囲；50～8000cm-1
最高分解能；1cm-2/pixel
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) (Laser Raman Spectrometer（RAMAN）)
- 設備ID
- AT-065
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- DXR-Raman Microscope
- 仕様・特徴
- ・励起光:532nm（高輝度DPSS）、780nm（高輝度ダイオード）
・測定波数範囲:50-3300cm-1
・スペクトル分解能:
フルレンジグレーティング;5 cm-1
高分解能グレーティング;3 cm-1
・最高空間分解能:1μmφ[使用レーザーの回折限界による]
・コンフォーカルによる深さ分解能:2μm～
・XYオートステージ:（可動範囲：76mm×100mm程度、0.1μｍStep）
・ X-Yと深さ方向のラマンマッピングが可能
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
- 設備ID
- AT-066
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Nicolet6700(本体)、Continuμm(顕微)
- 仕様・特徴
- ・光源:ETC EverGlo光源（9600～20cm-1）
・最高分解能:0.09cm-1
・測定波数範囲
350-7800cm-1 (本体: 検出器DTGS使用時 )、
600-7800cm-1（本体及び顕微：検出器MCT-A使用時）
・測定方法
本体：透過、ATR(ダイヤモンド、Ge)
顕微：透過、反射、オートステージによるマッピング機能
微小部蛍光X線分析装置 (Microscopic X-Ray Fluorescent Analyzer（XRF）)
- 設備ID
- AT-072
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech)
- 型番
- SEA_5210Ａ
- 仕様・特徴
- ・型式:SEA_5210A
・試料サイズ: 80mm□, 35mmt（上面照射方式）
・分析元素:Na～U
・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可）
・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ
・雰囲気:大気、真空
・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング
エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
- 設備ID
- AT-074
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所 (SHIMADZU)
- 型番
- KRATOS ANALYTICAL
- 仕様・特徴
- ・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm （専用ホルダ使用で約20mm迄可）
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV）
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター（DLD）システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素（最大分解能3μm）
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和 均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直（標準）、0～90°（傾斜観察ホルダ使用）
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar＋、多原子（コロネンC24H12 ）イオン
・搭載オプション:He紫外線光源（UPS用 21.2, 40.2 eV）
原子層堆積装置_3付帯ＸＰＳ装置（アルバック・ファイ） (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))
- 設備ID
- AT-103
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)
- 型番
- Quantera II
- 仕様・特徴
- ・型式:Quantera II
・試料サイズ:4インチφ
・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm)
・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm)
・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch)
・スペクトル分析:0～1467 eV
・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング
・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80% knife edge法)
・エネルギ分解能:0.48 eV（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和:10 eV以下電子と5～10 eV Arイオン同時照射
・光電子取り出し角度:45°(標準)
陽電子プローブマイクロアナライザー(PPMA) (Positron Probe MicroAnalyzer (PPMA))
- 設備ID
- AT-501
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 産総研自主開発 (AIST Original)
- 型番
- 仕様・特徴
- 電子の反粒子である陽電子のマイクロビームを作り、物質中の陽電子寿命のマッピング測定を行う装置。
原子が1個抜けた原子空孔、ナノボイドのサイズ、分布の評価が可能。
・陽電子源 ： 電子加速器対生成方式
・陽電子ビーム径 ： 0.01 mm ～ 10 mm
・陽電子ビームエネルギー ： 1-30 keV
・寿命測定時間分解能 ： 200-300 ps
超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) (X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy with a Superconducting Fluorescence Detector (SC-XAFS))
- 設備ID
- AT-502
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 産総研自主開発 (AIST Original)
- 型番
- 仕様・特徴
- エネルギー分散超伝導検出器を搭載し、母材中の微量軽元素や重い元素のL、M線のＸ線吸収微細構造測定により、特定の微量元素の原子スケール構造解析を行う。省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価する。
・蛍光Ｘ線エネルギー分解能 ： 10 eV
・エネルギー範囲 ： 70eV-5000eV(<1keV:超伝導､> 2keV:半導体)
・アレイ検出器素子数 ：100
・光子計数率 ： 1 Mcps
・冷却 ： 液体ヘリウムを使用せず機械式冷凍機による自動冷却（0.3K)