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多機能走査型X線光電子分光分析装置 (multi-functional scanning X-ray photoelectron spsctroscopy (XPS))
- 設備ID
- NR-401
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- アルバックーファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- PHI5000VersaProbeⅡ
- 仕様・特徴
- ・X線源：単色化Al Kα線（集束X線型、スポット径100μm-9μm）、Mg Kα線、Zr L線
・エネルギー分析器：同心半球型（半径 139.7 mm）
・検出器：16 チャンネル
・絶縁物測定：帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃
・スパッタ深さ分析：Ar+イオン銃、GCIB（Arn+ Gas Cluster Ion Beam）
・5軸ステージ：X, Y, Z, Tilt, Rotation
・試料加熱冷却：-150℃-500℃
大気中光電子分光装置 (Photoemission Yield Spectroscopy in Air)
- 設備ID
- NR-402
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 理研計器 (Riken Keiki)
- 型番
- AC-3
- 仕様・特徴
- ・エネルギー走査範囲：4.0～7.0eV
・繰り返し精度：0.02eV
・光量可変範囲：2～100ｎW
・照射スポットサイズ：2×5㎜
顕微レーザーラマン分光光度計 (Laser Raman Spectrophotometer with microscope)
- 設備ID
- NR-403
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- NRS-4100-30
- 仕様・特徴
- ・レーザー波長：532nm, 785nm
・レーザースポット径 ：約 1μm (対物レンズ100x)
・偏光測定：レーザー光-試料配向、レーザー光-ラマン光
・分光器：ツェルニターナ型、焦点距離30cm, 回折格子x3 （600 gr/mm, 1200 gr/mm; 2400 gr/mm)
・4軸ステージ： X, Y, Z, 試料配向回転
円二色性分散計 (Circular Dichroism Spectrometer)
- 設備ID
- NR-405
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- J-820
- 仕様・特徴
- ・測定可能領域：163～1100nm
光ダイナミクス分光装置. (Photo-dynamics spectroscopy Sstem)
- 設備ID
- NR-406
- 設置機関
- 奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
- 設備画像
- メーカー名
- 独自組み上げ (self-assembled system)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- ・フェムト秒パルスレーザー（チタンサファイア）（Coherent Mira 900） ・サブナノ秒パルスレーザー（窒素）（USHO KEC-160） ・ストリークスコープ（HAMAMATSU C4780）
蛍光X線分析装置(XRF) (XRF)
- 設備ID
- RO-524
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- リガク ()
- 型番
- ZSX-400
- 仕様・特徴
- 対応wafer：１２inch以下
波長分散型XRF 金属などの組成分析
X線光電子分光装置(XPS) (X-ray photoelectron spectroscopy)
- 設備ID
- RO-525
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- クレイトスアナリティカル ()
- 型番
- ESCA-3400
- 仕様・特徴
- 試料サイズ：5mm角程度
エミッション電流：20 mA、accel HT：10 kV、測定範囲：1150～-10 eV
X線源：Mg Kα, 電子結合エネルギー走査範囲：1150 ～ -10 eV
多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS） (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
- 設備ID
- BA-026
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- PHI VersaProbe ４
- 仕様・特徴
- Al Kα モノクロX線源（Ag 3d5/2 半値幅：0.50 eV）
アルゴンガスクラスターイオン銃（Ar-GCIB）
真空紫外線光源（UPS）
低エネルギー逆光電子分光法（LEIPS）
反射電子エネルギー損失分光法（REELS）
分光蛍光光度計 (Spectrofluorometer)
- 設備ID
- CT-032
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FP-8550
- 仕様・特徴
- ・測定波長範囲：200～850nm
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES (X-ray Photoelectron Spectroscopy with AES)
- 設備ID
- UT-308
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバックファイ㈱ (ULVAC-PHI, Inc. )
- 型番
- PHI 5000 VersaProbe III with AES
- 仕様・特徴
- □ 主な特長
・ 走査型マイクロフォーカスＸ線源による微小領域分析（最小分析領域10μm）
・ ＳＸＩ(Scanning X-ray Image)により、正確・迅速に微小な分析位置を特定
・ 低エネルギー電子とイオンの同時照射により、絶縁物試料を容易に帯電中和
・ 5軸（X、Y、Z、Tilt、Rotation）モータ駆動による多点分析
・オージェ電子分光機能がついており、XPSとAESで同一か所の測定が可能
□ 主な仕様
・ 最小ビーム径：10μｍ以下
・ 最高エネルギー分解能：0.5eV以下(Ag3d 5/2)
・ 最大感度：1,000,000cps(Ag3d 5/2の半値幅1.0eVのとき)
・ 到達圧力：6.7×10-8Pa以下
・ AES最小分析領域：100nm