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軟X線光電子分光装置 (Soft X-ray photoelectron spectrometer)

設備ID
AE-007
設置機関
日本原子力研究開発機構(JAEA)
設備画像
軟X線光電子分光装置
メーカー名
カスタム(電子分析アナライザー: VG Scienta) (Home-made (Electron Analyzer: VG Scienta))
型番
電子分析アナライザー: SES-2002
仕様・特徴
角度分解光電子分光(ARPES)測定も可能な光電子分光装置。希土類及び3d遷移金属化合物の詳細な電子構造を調べることができる。
・光エネルギー:400-1500 eV
・エネルギー分解能:50-200 meV
・試料温度:6-300 K

多機能走査型X線光電子分光分析装置 (multi-functional scanning X-ray photoelectron spsctroscopy (XPS))

設備ID
NR-401
設置機関
奈良先端科学技術大学院大学 (NAIST)
設備画像
多機能走査型X線光電子分光分析装置
メーカー名
アルバックーファイ (ULVAC-PHI)
型番
PHI5000VersaProbeⅡ
仕様・特徴
・X線源:単色化Al Kα線(集束X線型、スポット径100μm-9μm)、Mg Kα線、Zr L線
・エネルギー分析器:同心半球型(半径 139.7 mm)
・検出器:16 チャンネル
・絶縁物測定:帯電中和用電子銃、Ar+イオン銃
・スパッタ深さ分析:Ar+イオン銃、GCIB(Arn+ Gas Cluster Ion Beam)
・5軸ステージ:X, Y, Z, Tilt, Rotation
・試料加熱冷却:-150℃-500℃

X線光電子分光装置(XPS) (X-ray photoelectron spectroscopy)

設備ID
RO-525
設置機関
広島大学
設備画像
X線光電子分光装置(XPS)
メーカー名
クレイトスアナリティカル ()
型番
ESCA-3400
仕様・特徴
試料サイズ:5mm角程度
エミッション電流:20 mA、accel HT:10 kV、測定範囲:1150~-10 eV
X線源:Mg Kα, 電子結合エネルギー走査範囲:1150 ~ -10 eV

多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))

設備ID
BA-026
設置機関
筑波大学
設備画像
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)
メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番
PHI VersaProbe 4
仕様・特徴
Al Kα モノクロX線源(Ag 3d5/2 半値幅:0.50 eV)
アルゴンガスクラスターイオン銃(Ar-GCIB)
真空紫外線光源(UPS)
低エネルギー逆光電子分光法(LEIPS)
反射電子エネルギー損失分光法(REELS)

多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES (X-ray Photoelectron Spectroscopy with AES)

設備ID
UT-308
設置機関
東京大学
設備画像
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)with AES
メーカー名
アルバックファイ㈱ (ULVAC-PHI, Inc. )
型番
PHI 5000 VersaProbe III with AES
仕様・特徴
□ 主な特長
・ 走査型マイクロフォーカスX線源による微小領域分析(最小分析領域10μm)
・ SXI(Scanning X-ray Image)により、正確・迅速に微小な分析位置を特定
・ 低エネルギー電子とイオンの同時照射により、絶縁物試料を容易に帯電中和
・ 5軸(X、Y、Z、Tilt、Rotation)モータ駆動による多点分析
・オージェ電子分光機能がついており、XPSとAESで同一か所の測定が可能

□ 主な仕様
・ 最小ビーム径:10μm以下
・ 最高エネルギー分解能:0.5eV以下(Ag3d 5/2)
・ 最大感度:1,000,000cps(Ag3d 5/2の半値幅1.0eVのとき)
・ 到達圧力:6.7×10-8Pa以下
・ AES最小分析領域:100nm
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