共用設備検索

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscope)

設備ID: HK-201

設置機関: 北海道大学

設備画像

メーカー名: 日本電子 (JEOL)

型番: JPS-9200

仕様・特徴: 標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV（モノクロX線源）
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:30μmφ～3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm
トランスファーベッセル
画面共有システムによる遠隔立ち会い

X線光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectrometer)

設備ID: HK-406

設置機関: 北海道大学

設備画像

メーカー名: 日本電子 (JEOL)

型番: JPS-9200

仕様・特徴: 標準X線源Mg/Alツインアノード
モノクロX線源
エネルギー分解能:0.65eV（モノクロX線源）
アルゴンイオンエッチング銃
分析径:3μmφ～3mmφ
最大20点まで連続分析可、分析エリア:20mm×50mm

X線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))

設備ID: BA-015

設置機関: 筑波大学

設備画像

メーカー名: 日本電子 (JEOL)

型番: JPS-9010TR

仕様・特徴: Mg / Al ツインアノード X 線銃
単色化 AlKα線（Ag 3d_5/2 半値幅：0.65 eV）
静電半球型分光器
試料傾斜機構（0 ～ 90°）
中和電子銃・Ar イオンエッチング銃搭載
試料加熱機構（要相談）

エックス線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

設備ID: AT-074

設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

設備画像

メーカー名: 島津製作所 (SHIMADZU)

型番: KRATOS ANALYTICAL

仕様・特徴: ・型式:KRATOS ANALYTICAL
・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10mm （専用ホルダ使用で約20mm迄可）
・X線源:Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV）
・光電子分光器:軌道半径165mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型
・検出器:ディレイラインディテクター（DLD）システム
・スペクトル分析:100チャネル同時計測
・イメージング:256×256画素（最大分解能3μm）
・最小スペクトル分析面積:15μmΦ
・エネルギ分解能:0.48 eV以下（Ag 3d_5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和均一低エネルギー電子照射
・光電子取り出し角度:垂直（標準）、0～90°（傾斜観察ホルダ使用）
* 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。
・エッチングイオン銃:Ar^＋、多原子（コロネンC₂₄H₁₂ ）イオン
・搭載オプション:He紫外線光源（UPS用 21.2, 40.2 eV）

原子層堆積装置_3付帯ＸＰＳ装置（アルバック・ファイ） (X-ray Photoelectron Spectroscopy Analysis System (XPS))

設備ID: AT-103

設置機関: 産業技術総合研究所（AIST)

設備画像

メーカー名: アルバック・ファイ (ULVAC-PHI,)

型番: Quantera II

仕様・特徴: ・型式:Quantera II
・試料サイズ:4インチφ
・X線源:単色化Al kα(ローランド直径 200 mm)
・光電子分光器:静電半球型(軌道直径279.4 mm)
・検出器:マルチチャネル検出器 (32 ch)
・スペクトル分析:0～1467 eV
・イメージング:最小ビーム径7.5μm, 最大走査範囲1.4 mmx1.4 mmのSXIイメージング
・最小スペクトル分析面積:7.5μmφ (20% - 80% knife edge法)
・エネルギ分解能:0.48 eV（Ag 3d_5/2光電子ピーク半値幅）
・帯電中和:10 eV以下電子と5～10 eV Arイオン同時照射
・光電子取り出し角度:45°(標準)

Ｘ線光電子分光装置 (X-ray Photoelectron Spectroscopy)

設備ID: UE-007

設置機関: 電気通信大学

設備画像

メーカー名: 日本電子 (JEOL)

型番: JPS-9200

仕様・特徴: 標準X線源(Al-Mgツインターゲット)
最大負荷 Mg 500W, Al 600W、単色化X線源
Ag3d_5/2光電子スペクトル、モノクロAlKα線で励起(600 W換算)

X線光電子分光装置 (XPS)

設備ID: JI-013

設置機関: 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST）

設備画像

メーカー名: 島津クレートス (Shimadzu/Kratos)

型番: AXIS- ULTRA DLD

仕様・特徴: 測定可能元素 Li～U
X線源 Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線
紫外光源：He放電管
最小プローブ 40μmφ
分析深さ数nm
最大試料サイズ 100mm（X）×25mm（Y）×10mm（Z）
イメージング空間分解能 3μm以下元素像および化学状態像
深さ分析可能エッチングイオン銃使用
傾斜分析可能 0～90°・紫外光分光分析（UPS）可能