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全反射蛍光X線分析装置TXRF-3760 (Total internal reflection fluorescence X-ray analyzer)

設備ID
UT-862
設置機関
東京大学
設備画像
全反射蛍光X線分析装置TXRF-3760
メーカー名
(株)リガク (Rigaku Corporation)
型番
TXRF 3760
仕様・特徴
ウェーハ表面上の汚染を非破壊・非接触で高感度に分析。
液体窒素フリー検出器を備えた3ビームTXRFシステム。
ナトリウムからウランまでの元素検出が可能。
解析に時間と経験を要するため、当面技術代行(代行料が上乗せになる)にての公開。

誘導結合プラズマ発光分析装置群 (Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometers / Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometers)

設備ID
NM-203
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
誘導結合プラズマ発光分析装置群
メーカー名
1-3, 6. アジレント・テクノロジー 4. 日立ハイテクサイエンス 5. サーモフィッシャーサイエンティフィック (1-3, 6. Agilent Technology 4. Hitachi High-Tech Science Corporation 5. Thermo Fisher Scientific K.K.)
型番
1. 720 ICP-OES 2. Agilent5800 3. Agilent7850 4. SPS3520DD-UV 5. Element XR 6. Agilent5800
仕様・特徴
1,2,6.多波長同時測定による高速測定(世界最速)/低濃度溶液から高濃度溶液を希釈なし測定
2,6共通.測光方向を軸方法及び横方向に切り替えて測定可能
3. 高速双極線型四重極分析/スペクトル干渉除去
4. 高スペクトル分解能逐次測定/低濃度溶液から高濃度溶液を測定/Cl,Br測定
3,5 共通 元素の検出下限濃度bbtレベル以下
5. 高質量分解能二重収束型質量分析/溶液試料中の極微量元素測定(Li~U)

酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置 (Oxygen/Nitrogen/Hydrogen Analyzer Carbon/Sulfur Analyzer)

設備ID
NM-206
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
酸素窒素水素分析装置、炭素硫黄分析装置
メーカー名
LECOジャパン合同会社 (LECO JAPAN CORPORATION)
型番
ONH836CS844
仕様・特徴
酸素・窒素・水素解析部はインパルス加熱/赤外線検出方式及び熱伝導度検出方式である。
分析範囲:[酸素]10 ppm~3%,
[窒素]10 ppm~3%(試料重量1g時)
[水素]10 ppm~2500ppm(試料重量1g時)
炭素・硫黄解析部は高周波加熱炉/赤外線検出方式である。
分析範囲:[炭素]10 ppm~6%,
[硫黄]10 ppm~6%
(試料重量1g時)

電子顕微鏡  (Scanning Electron Microscope (SEM))

設備ID
UT-858
設置機関
東京大学
設備画像
電子顕微鏡
メーカー名
日本電子㈱ (JEOL)
型番
JSM-6610LV Oxford X-max50 + Energy 250
仕様・特徴
エネルギー分散型X線分析装置(元素分析装置)付きの走査電子顕微鏡です。

全自動元素分析装置 (CHNS/O Elemental Analyzer)

設備ID
NU-001
設置機関
名古屋大学
設備画像
全自動元素分析装置
メーカー名
Perkin Elmer社 (PerkinElmer)
型番
2400Ⅱ CHNS/O
仕様・特徴
・サンプル量分析範囲 : ~500 mg(固体、液体)*目的元素含有量に依存
・C(0.001~3.6 mg)、H(0.001~1.0 mg)N(0.001~6.0 mg)、S(0.001~2.0 mg)
・測定方式: 静的燃焼、フロンタルクロマトグラフィー、TCD検出

電子分光型超高圧分析電子顕微鏡 (1300 kVHigh Voltage Electron Microscope )

設備ID
KU-001
設置機関
九州大学
設備画像
電子分光型超高圧分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-1300NEF
仕様・特徴
オメガ型エネルギーフィルター搭載の超高圧電顕、最高加速電圧1300kV、電子線トモグラフィ、レーザーパルス光照射、その場観察、冷却・加熱引張試験

収差補正走査/透過電子顕微鏡 (Cs corrected scannning transmission electron microscope )

設備ID
KU-002
設置機関
九州大学
設備画像
収差補正走査/透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
照射系・結像系の収差補正、EDS/EELSによる高感度組成・状態分析

広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡 (30-200 kV Atomic resolution analytical electron microscope)

設備ID
KU-004
設置機関
九州大学
設備画像
広電圧超高感度原子分解能電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200CF
仕様・特徴
照射系・結像系の収差補正、EDS(100mm2 SDD2機搭載 立体角1.7sr)/EELSによる高感度組成・状態分析、加速電圧:30, 60, 80, 120, 200kV、その場観察、 加熱・冷却・電圧印加・ガス雰囲気

収差補正高分解能電子顕微鏡 (Cs corrected atomic resolution electron microscope )

設備ID
KU-007
設置機関
九州大学
設備画像
収差補正高分解能電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F
仕様・特徴
走査歳差運動照射電子回折SPEDによる結晶方位解析

三次元原子分解能透過電子顕微鏡 (3D analyltical STEM/TEM)

設備ID
KU-010
設置機関
九州大学
設備画像
三次元原子分解能透過電子顕微鏡
メーカー名
サーモフィッシャーサイエンテ ィフィック (Thermo Fisher Scientific)
型番
Titan G2 60-300
仕様・特徴
電子銃モノクロメータ、トモグラフィー
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