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多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))

設備ID
BA-026
設置機関
筑波大学
設備画像
多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)
メーカー名
アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
型番
PHI VersaProbe 4
仕様・特徴
Al Kα モノクロX線源(Ag 3d5/2 半値幅:0.50 eV)
アルゴンガスクラスターイオン銃(Ar-GCIB)
真空紫外線光源(UPS)
低エネルギー逆光電子分光法(LEIPS)
反射電子エネルギー損失分光法(REELS)
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