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多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS) (X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS))
- 設備ID
- BA-026
- 設置機関
- 筑波大学
- 設備画像
![多機能走査型X線光電子分光分析装置(XPS)](data/facility_item/1687759070_11.jpg)
- メーカー名
- アルバック・ファイ (ULVAC-PHI)
- 型番
- PHI VersaProbe 4
- 仕様・特徴
- Al Kα モノクロX線源(Ag 3d5/2 半値幅:0.50 eV)
アルゴンガスクラスターイオン銃(Ar-GCIB)
真空紫外線光源(UPS)
低エネルギー逆光電子分光法(LEIPS)
反射電子エネルギー損失分光法(REELS)
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