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フーリエ変換赤外分光計（FT/IR-6700） (Fourier transform infrared spectrometer (FT/IR-6700))
- 設備ID
- NM-223
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FT/IR-6700
- 仕様・特徴
- 測定波数範囲:7800～350cm-1、最高分解能:0.25cm-1、ATR、RAS付属
フーリエ変換赤外分光光度計（IRAffinity-1S） (FT-IR (IRAffinity-1s))
- 設備ID
- NM-219
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所 (Shimadzu)
- 型番
- IRAffinity-1s/AIM-9000
- 仕様・特徴
- ＜IRAffinity-1s使用時＞
・ATR法 / 透過法
・波数範囲：7800～400 cm-1 (DLATGS検出器)
・ATRプリズム：ダイヤモンド (屈折率2.4)
＜AIM-9000使用時 (赤外顕微)＞
・ATR法 / 透過法 / 反射法
・波数範囲：4000～400 cm-1 (TGS検出器)、4000～700cm-1 (MCT検出器)
・ATRプリズム：Ge (屈折率4.2)
フーリエ変換赤外分光光度計 (FT-IR)
- 設備ID
- NM-011
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
- メーカー名
- 島津製作所 (Shimadzu)
- 型番
- IRTracer-100
- 仕様・特徴
- ・光源：高輝度セラミックス光源
・検出器：温調付きDLATGS、液体窒素冷却型MCT
・スペクトル範囲：7,800～350cm-1
・分解能：最大0.25cm-1
・SN比 最大60000:1
・測定用付属品：拡散反射、多重反射ATR、一回反射ATR
ラジカル計測付多目的プラズマプロセス装置 (Multipurpose plasma process system with radical monitor)
- 設備ID
- NU-237
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 自作 (Lab made)
- 型番
- 仕様・特徴
- ・プラズマ処理の際に生成する温度，ラジカル密度，励起種，表面分析をIn-situで行う．
・プロセスガス：H2，N2，Ar，O2，He
・基板温度：－10℃-60℃
・サンプル：4インチウエハ
フーリエ変換赤外分光分析 (Fourier transform infrared spectroscopy)
- 設備ID
- NU-258
- 設置機関
- 名古屋大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FT/IR-615V
- 仕様・特徴
- ・測定波数範囲: 7800～350cm-1
・透過および全反射測定対応
・干渉計、試料室、検出器部真空引き可能
フーリエ変換赤外分光光度計（FTIR)/赤外顕微鏡 (Fourier transform infrared spectrometer (FTIR)/Micro FTIR spectrometer)
- 設備ID
- CT-002
- 設置機関
- 公立千歳科学技術大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光 (JASCO)
- 型番
- FT/IR-6600IRT-5200
- 仕様・特徴
- FT/IR-6600, IRT-5200
・測定範囲： 7,800～350 cm-1
IRT-5200
・分解能：2 cm-1
顕微フーリエ変換赤外分光装置(FT-IR) (Fourier Transform Infrared Spectrometer (FT-IR))
- 設備ID
- AT-066
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- サーモフィッシャー (Thermo Fisher Scientific)
- 型番
- Nicolet6700(本体)、Continuμm(顕微)
- 仕様・特徴
- ・光源:ETC EverGlo光源（9600～20cm-1）
・最高分解能:0.09cm-1
・測定波数範囲
350-7800cm-1 (本体: 検出器DTGS使用時 )、
600-7800cm-1（本体及び顕微：検出器MCT-A使用時）
・測定方法
本体：透過、ATR(ダイヤモンド、Ge)
顕微：透過、反射、オートステージによるマッピング機能
リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) )
- 設備ID
- AT-504
- 設置機関
- 産業技術総合研究所（AIST)
- 設備画像
- メーカー名
- (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece))
- 型番
- (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image
- 仕様・特徴
- (1) RSPM1
分光（赤外）原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡
・型式: NEA SNOM
・設置室名: 2-1D棟125室
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光
・測定環境: 大気中
・試料サイズ:（10mm角）や厚さの制限有
・空間分解能<100nmのナノ赤外分光（Nano-FTIR）
(2) RSPM2
E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡)
・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM
・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用
・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr])
・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし)
・試料サイズ: 最大15 mm角程度
・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム）
前処理装置等
・標準試料: 探針評価、スケール、段差等
・付帯設備
研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計（ATRのみ）、レーザードップラー干渉計（カンチレバーのばね定数校正）
フーリエ変換赤外分光計 (Fourier Transform Infrared Spectroscopy)
- 設備ID
- WS-025
- 設置機関
- 早稲田大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本分光株式会社 (JASCO Corporation)
- 型番
- FT/IR-6200＋加熱ATR測定部改造
- 仕様・特徴
- 測定波数範囲： 7800～350 cm-1
測定波数拡張範囲： 15000～20cm-1
表示波数範囲： 15000～0 cm-1
波数正確さ： ±0.01 cm-1以内（理論値）
フォトルミネッセンス測定装置 (Photoluminesence measurement system)
- 設備ID
- IT-030
- 設置機関
- 東京工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 堀場製作所 (Horiba)
- 型番
- 顕微ＰＬ測定装置
- 仕様・特徴
- 励起波長:640nm、1064nm、受光器:GaInAs、対物レンズ:ｘ10(NA0.26)、x100(NA0.5)