共用設備検索結果
イナートガスオーブン (Inert Gas Oven)
- 設備ID
- UT-801
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋サーモシステム (Koyo Thermo Systems)
- 型番
- INH-9CD
- 仕様・特徴
- 窒素ガスを導入して、窒素雰囲気でプログラムした通りにベークできる電気炉。600℃まで昇温可能。残留ガス濃度20ppm (カタログスペック)
高速ランプアニール装置 (Lamp Annealer)
- 設備ID
- UT-802
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 米倉製作所 (YONEKURA MFG)
- 型番
- MS-HP2-9
- 仕様・特徴
- φ3inchまで（条件によってφ4inchまで可能）。大気および窒素雰囲気。昇温速度200℃/minまで、到達温度1000℃まで可能。
サンドブラスト (Sandblasting Machine)
- 設備ID
- UT-803
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 不二製作所 (Fuji Manufacturing)
- 型番
- 仕様・特徴
- クリーンルーム対応装置。アルミナ粉末によってブラスト加工ができます
UVオゾンクリーナー (UV ozone cleaner)
- 設備ID
- UT-804
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- UV-1
- 仕様・特徴
- レジスト等のアッシング処理が可能
プラズマ表面改質装置 (Plasama Surface Modificaton Equipment)
- 設備ID
- UT-805
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- サムコ (SAMCO)
- 型番
- AQ-50
- 仕様・特徴
- 特にポリマーの接合前の表面処理、超臨界流体製膜前処理、親水化処理が可能。
形状・膜厚・電気特性評価装置群 (Series of analysis equipments, visual, thickness, and electrical/mechanical characteristic.)
- 設備ID
- UT-850
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ・キーエンス ・ブルカー ・東朋テクノロジー ・ズースマイクロテック ・日本分光 ・オリンパス ・エビデント（旧オリンパス） ・キーエンス (・Keyence ・BRUKER ・Toho Technology ・SUSS MicroTec ・JASCO ・Olympus ・EVIDENT (Ex.Olympus) ・Keyence)
- 型番
- ・VHX-6000 ・DektakXT ・Tohospec3100 ・Suss8”プローバ ・M-550 ・LEXT OLS5000 ・STM-7 ・VK-X1100(404nm)
- 仕様・特徴
- 枝番1：顕微鏡
枝番2：触針段差計
枝番3：光干渉式膜厚測定装置
枝番4：Suss8”プローバ,針を当てて電気的特性を測定する装置。8インチ対応。
枝番5：分光エリプソメータ―
枝番6：レーザー顕微鏡
枝番7：光学顕微鏡(200mmステージ、静止画撮影)
枝番8：共焦点型レーザー顕微鏡。一般居室にあるため、クリーンルームに持ち込み不可なサンプルも計測可能。
機械特性評価装置 (MSA-500 Micro System Analyzer)
- 設備ID
- UT-851
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- ポリテック (Polyltec)
- 型番
- MSA-500
- 仕様・特徴
- Polytec 振動解析装置
MEMS機構の振動解析を行う装置です。XY方向はストロボスコープ（1MHz）、Z方向はレーザードップラー振動計（1.5MHz）またはレーザ変位計（24MHz）にて測定可能です。
測定した結果をアニメーションにして表示できるので解析に最適です。
半導体パラメータアナライザー (Semiconductor Parameter Analyzer)
- 設備ID
- UT-852
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーサイト (KEYSIGHT)
- 型番
- B1500A
- 仕様・特徴
- キーサイト社製。IV測定、CV測定の他、最先端のデバイス評価で必要とされる高速パルスドIV測定まで、様々な測定に対応しており、各種デバイス、材料、半導体、能動部品／受動部品をはじめ、あらゆる電子デバイスの特性評価に最適です。
簡易電子顕微鏡 (Tabletop SEM)
- 設備ID
- UT-853
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech)
- 型番
- TM-3030Plus
- 仕様・特徴
- 卓上顕微鏡、EDX付
オージェ分光分析装置 (Auger Electron Spectroscopy)
- 設備ID
- UT-854
- 設置機関
- 東京大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC)
- 型番
- PHI680
- 仕様・特徴
- 元素分析装置。 対象の極表面から出て来るオージェ電子のエネルギー分光計測によって元素を調べることが出来る。
アルゴンミリングと併用でき、深さ方向のプロファイルを測定することができる。