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金メッキ装置 (Gold electroplating apparatus)

設備ID
UT-706
設置機関
東京大学
設備画像
金メッキ装置
メーカー名
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
型番
仕様・特徴
欠片~4”までの金電解メッキ

銅メッキ装置 (Copper electroplating apparatus)

設備ID
UT-707
設置機関
東京大学
設備画像
銅メッキ装置
メーカー名
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
型番
仕様・特徴
欠片~4”までの金電解メッキ

超臨界銅成膜装置 (Supercritical Flude (SCF) Deposition)

設備ID
UT-708
設置機関
東京大学
設備画像
超臨界銅成膜装置
メーカー名
自作 (DIY)
型番
仕様・特徴
自作2㎝角まで。東京大学霜垣・百瀬研究室との協力による。

パリレンコーター (Parylene Coater)

設備ID
UT-709
設置機関
東京大学
設備画像
パリレンコーター
メーカー名
米国SCS社 (Specialty Coating Systems)
型番
PDS2010
仕様・特徴
8インチまでの成膜が可能。

ニッケルめっき装置 (Nikkel Electroplating)

設備ID
UT-710
設置機関
東京大学
設備画像
ニッケルめっき装置
メーカー名
山本鍍金試験器 (Yamamoto-MS)
型番
仕様・特徴
欠片~4”までのニッケル電解メッキ

LL式高密度汎用スパッタリング装置(2019) (LL-type High-density General Purpose Sputtering System)

設備ID
UT-711
設置機関
東京大学
設備画像
LL式高密度汎用スパッタリング装置(2019)
メーカー名
芝浦メカトロニクス (SHIBAURA MECHATRONICS)
型番
CFS-4EP-LL !-Miller (2019)
仕様・特徴
真空引きが速く、通常10分程度でスパッタリング開始が可能。また、膜質の安定も期待できる。ターゲットはCFS-4ESと共通。 デフォルトはPt/Au/Cr/Tiを装着。それ以外のターゲットは支援員の技術補助で交換を行う。UT-716と互換。

8元電子線蒸着装置 (Electron Beam Evaporator)

設備ID
UT-712
設置機関
東京大学
設備画像
8元電子線蒸着装置
メーカー名
エイコー (EIKO)
型番
EB-380
仕様・特徴
蒸着材料を一度に8種類装填できる多様な実験を支援する電子ビーム蒸着。

カーボンコーター (Carbon coater )

設備ID
UT-713
設置機関
東京大学
設備画像
カーボンコーター
メーカー名
明和フォーシス (Meiwafosis )
型番
CADE-4T
仕様・特徴
帯電しやすい試料をカーボンでコーティングして鮮明な走査電子顕微鏡増が得られます。

電子線顕微鏡観察用コーター (Coater for SEM analysis)

設備ID
UT-714
設置機関
東京大学
設備画像
電子線顕微鏡観察用コーター
メーカー名
Gatan (Gatan)
型番
PECS
仕様・特徴
スパッタによりカーボン膜など観察用の薄膜を堆積できます

クリーンドラフト潤沢超純水付 (Draft Chambers with DI water taps)

設備ID
UT-800
設置機関
東京大学
設備画像
クリーンドラフト潤沢超純水付
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
化学作業を行うためのいわゆる「ドラフトチャンバー」
クリーンルーム1にはアルカリ2台、酸1台、有機1台、
クリーンルーム2にはアルカリ2台、酸2台、有機1台。
全てに潤沢な超純水を取れる口があり、一度使うと湯水のごとく超純水が使えることに誰もが驚きます。
窒素ガンも用意してあり、洗ったサンプルを窒素ブローで乾かすこともできます。
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