共用設備検索結果
表面段差計 (Profilometer)
- 設備ID
- RO-534
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- BRUKER (BRUKER)
- 型番
- Dektak XT-E
- 仕様・特徴
- 対応wafer：４inch以下
垂直範囲：10nm～1mm、
垂直解像度：最高0.1nm
ダイサー (Dicing Saw)
- 設備ID
- RO-601
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- ディスコ (DISCO Corporation)
- 型番
- DAD322
- 仕様・特徴
- 最大6インチまで対応可。
Si, SiO2, SiCウェハ等のダイシング用。
PDMS加工装置 (PDMS processing equipment)
- 設備ID
- RO-602
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 魁･THINKEYほか ()
- 型番
- 仕様・特徴
- ポリジメチルシロキサン(PDMS)加工用の塗布装置、真空撹拌脱泡装置、オーブン等の装置群
高温イオン注入装置 (Ion implanter)
- 設備ID
- RO-212
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- アルバック (ULVAC, Inc.)
- 型番
- IMX-3500（手動高温仕様）
- 仕様・特徴
- 対応wafer：～６inch、cut wafer
温度：常温、200～500℃、 加速電圧：10～200ｋV、
最大ﾋﾞｰﾑ電流：100μA以上（＠B＋、P＋）、
：10μA以上（＠Al＋）
Al，B，As，P，F，BF2，Ar，（Si，N，He） 等注入可能
走査電子顕微鏡（SEM） (Field emission scanning electron microscope)
- 設備ID
- RO-527
- 設置機関
- 広島大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM-IT800
- 仕様・特徴
- ショットキｰ電界放出型電子銃，10V～30kV、
最高分解能0.5nm，