共用設備検索結果
酸化炉 (Oxidation)
- 設備ID
- TU-101
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 東京エレクトロン (TEL)
- 型番
- XL-7
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
ドライ酸化、ウェット酸化（パイロジェニック）
酸化炉(8) (Oxidation)
- 設備ID
- TU-102
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋サーモシステム (Koyo)
- 型番
- MT-10×8-A
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～8インチ
ドライ酸化、ウェット酸化（バブリング）
酸化温度：最大1050℃
メタル拡散炉 (Metal diffusion furnace)
- 設備ID
- TU-104
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 光洋リンドバーグ (Koyo)
- 型番
- Model270
- 仕様・特徴
- 温度：最高1000℃
中電流イオン注入装置 (Middle-current ion implanter)
- 設備ID
- TU-105
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日新イオン機器 (Nissin)
- 型番
- NH-20SR
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～4インチ
カセットtoカセット
加速電圧：～160kV
最大電流：0.6mA
ランプアニール装置 (Rapid thermal annealing)
- 設備ID
- TU-107
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- AG Associates (AG Associates)
- 型番
- AG4100
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
カセットtoカセット
赤外線ランプ加熱
基板温度：最高1100℃
昇温速度：100℃／sec
水素アニール装置 (Hydrogen annealing)
- 設備ID
- TU-108
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- オリジナル (Original)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- 東北大学大学院工学研究科 金森 義明 教授が開発した装置
赤外線ランプ加熱
温度：最高1100℃
熱CVD (Thermal CVD)
- 設備ID
- TU-152
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
- メーカー名
- 国際電気 (Kokusai Electric)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ：小片～6インチ
基板温度：最高1100℃