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シンター用オーブン (Sintering oven)

設備ID
TU-007
設置機関
東北大学
設備画像
シンター用オーブン
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
DR22
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
温度:最高650℃

真空オーブン (Vacuum oven)

設備ID
TU-008
設置機関
東北大学
設備画像
真空オーブン
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
DP-31
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
温度:最高200℃

ブラシスクラバ (Brush scrubber)

設備ID
TU-009
設置機関
東北大学
設備画像
ブラシスクラバ
メーカー名
全協化成 (Zenkyo)
型番
特注
仕様・特徴
サンプルサイズ:20mm角~6インチ

ミカサ スピンコータ (Mikasa Spin coater)

設備ID
TU-051
設置機関
東北大学
設備画像
ミカサ スピンコータ
メーカー名
ミカサ (Mikasa)
型番
1H-DXII
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

アクテス スピンコータ#1 (Spin coater)

設備ID
TU-052
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#1
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ

アクテス スピンコータ#2 (Spin coater)

設備ID
TU-053
設置機関
東北大学
設備画像
アクテス スピンコータ#2
メーカー名
アクテス (Actes)
型番
ASC-4000W
仕様・特徴
サンプルサイズ:4,6,8インチ

ホットプレート (Hot plate)

設備ID
TU-054
設置機関
東北大学
設備画像
ホットプレート
メーカー名
Shamal (Shamal)
型番
HHP-230SQ
仕様・特徴
設定温度:40~400℃
温度分布精度:±1℃

クリーンオーブン (Clean oven)

設備ID
TU-055
設置機関
東北大学
設備画像
クリーンオーブン
メーカー名
ヤマト科学 (Yamato)
型番
DE62
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~8インチ

両面アライナ (Double-side aligner)

設備ID
TU-056
設置機関
東北大学
設備画像
両面アライナ
メーカー名
SUSS (SUSS)
型番
MA6/BA6
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~6インチ
露光波長:ブロードバンド、i線
最小露光線幅:~0.7μm
アライメント精度(片面):~1μm
アライメント精度(両面):~3μm

レーザ描画装置 (Laser writer)

設備ID
TU-057
設置機関
東北大学
設備画像
レーザ描画装置
メーカー名
Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
型番
DWL2000CE
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~9インチ
波長:405nm
最小描画線幅:0.7µm
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