共用設備検索結果
ディスコ ダイサ (Disco dicer)
- 設備ID
- TU-255
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![ディスコ ダイサ](data/facility_item/1651467855_14.jpg)
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAD-522
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
切削水:水道水
東京精密 ダイサ (Accretech dicer)
- 設備ID
- TU-256
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![東京精密 ダイサ](data/facility_item/1651467876_14.jpg)
- メーカー名
- 東京精密 (Accretech)
- 型番
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
切削水:純水
サンドブラスト (Sand bluster)
- 設備ID
- TU-259
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![サンドブラスト](data/facility_item/1651467946_14.jpg)
- メーカー名
- 新東 (Shinto)
- 型番
- -
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
砥粒:アルミナ、粒径14μm程度
4インチウェハ研磨装置 (4 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-260
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![4インチウェハ研磨装置](data/facility_item/1651467967_14.jpg)
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni52
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:4インチ
6インチウェハ研磨装置 (6 wafer polisher)
- 設備ID
- TU-261
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![6インチウェハ研磨装置](data/facility_item/1651467990_14.jpg)
- メーカー名
- BNテクノロジー (BN technology)
- 型番
- Bni62
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:6インチ
サーフェイスプレナー (Surface planer)
- 設備ID
- TU-262
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![サーフェイスプレナー](data/facility_item/1651468016_14.jpg)
- メーカー名
- ディスコ (Disco)
- 型番
- DAS8920
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ
UVインプリント装置 (UV imprint)
- 設備ID
- TU-263
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![UVインプリント装置](data/facility_item/1651468034_14.jpg)
- メーカー名
- 東芝機械 (Toshiba Machine)
- 型番
- ST-50
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~6インチ(ステージの可動範囲は4インチ角)
モールドサイズ:小片~3インチ
荷重:最大50kN
熱インプリント装置 (Thermal imprint)
- 設備ID
- TU-264
- 設置機関
- 東北大学
- 設備画像
![熱インプリント装置](data/facility_item/1651468053_14.jpg)
- メーカー名
- オリジン電気 (Origin)
- 型番
- Reprina-T50A
- 仕様・特徴
- サンプルサイズ:小片~2インチ角
温度:最大650℃
荷重:最大30kN