共用設備検索結果
Deep Reactive Ion Etching装置（Boschプロセス） (Reactive ion etching equipment (Bosch))
- 設備ID
- TT-011
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products CO.,LTD.)
- 型番
- Multiplex-ASE-SRE-SE
- 仕様・特徴
- ・φ4インチ シリコン用（金属剥き出しサンプルは禁止）
メカニカルクランプのため、200μm厚のような薄いウェハは割れるため、厚いウェハに固定して運用。
イオンミリング装置 (Ion milling)
- 設備ID
- TT-012
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日立ハイテクフィールディング (Hitachi High-Tech Fielding Corporation)
- 型番
- IM-4-1
- 仕様・特徴
- 加工材料：一般的な金属
最大加工領域：3基板
加工速度の目安： 加速電圧600V 減速電圧200V 加速電流120mA 傾斜角-30° でアルミのエッチング速度2.4μm/h
ダイシング装置 (Dicing equipment)
- 設備ID
- TT-013
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 岡本工作機械製作所 (okamoto machine tool works,LTD)
- 型番
- ADM-6DBV
- 仕様・特徴
- φ6インチ以下基板のダイシング加工
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）(電子ビーム描画機能付属） (Field emission-type scanning electron microscope)
- 設備ID
- TT-014
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- 日本電子 (JEOL Ltd.)
- 型番
- JSM6500F
- 仕様・特徴
- 東京テクノロジーのBEAM DRAWを付加した電子線描画装置。最小描画線幅50nm
デジタルマイクロスコープ群 (Optical microscope)
- 設備ID
- TT-015
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- キーエンス (Keyence)
- 型番
- VHX-600、VH-5500など
- 仕様・特徴
- ・フリーアングル低倍観察VH-5500など
・測微機能および3次元表示機能付きデジタルマイクロスコ－プ
・材料は不問、サイズはステージに載れば利用可能
エリプソメーター (Ellipsometer)
- 設備ID
- TT-016
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ガ－トナ－ (Gartner Sci. Corp.)
- 型番
- LSE
- 仕様・特徴
- ・シリコン酸化膜あるいはSiN膜等の単層あるいは2層膜の膜厚測定
・φ6インチ以下基板
表面形状測定器（段差計） (Stylus profiler)
- 設備ID
- TT-017
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- KLAテンコール (KLA-Tencor)
- 型番
- アルファーステップ IQZ
- 仕様・特徴
- 触針段差計、材料は不問
φ4インチ程度
針先端が形状を沿って動けることが条件
非接触３次元表面形状・粗さ測定機 (White-light interferometer)
- 設備ID
- TT-018
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ザイゴ (Zygo)
- 型番
- NewView 7300
- 仕様・特徴
- 材料は不問。サイズと重量はステージに載れば良い。
約1.5kgまでモーターステージ可動。
ナノ物性測定用プローブ顕微鏡システム (Scanning probe microscope for measuring nano-region material property)
- 設備ID
- TT-019
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- ブルカー (Bruker)
- 型番
- Multimode顕微鏡
- 仕様・特徴
- ・導電性（TUNA)
・表面電位、STM機能
・原子、分子分解能
ラマン分光装置 (Raman Spectrometer)
- 設備ID
- TT-020
- 設置機関
- 豊田工業大学
- 設備画像
- メーカー名
- レニショー (Renishaw plc.)
- 型番
- inVia Reflex
- 仕様・特徴
- マッピング可能（最少100nmステップ）
試料サイズ mm～cm