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ダブル球面収差補正付透過型電子顕微鏡 (Double spherical aberration corrected transmission electron microscope (Cs-corrected TEM))

設備ID
SH-001
設置機関
信州大学
設備画像
ダブル球面収差補正付透過型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F
仕様・特徴
球面収差補正装置: EM-Z07167T 2段つき
加速電圧:80kV(カーボンに特化した低加速電圧で運転中)
分析機能:EELS、EDS

走査型透過電子顕微鏡 (Scanning transmission electron microscope)

設備ID
SH-002
設置機関
信州大学
設備画像
走査型透過電子顕微鏡
メーカー名
日立ハイテク (Hitachi High-Tech)
型番
HD-2300A
仕様・特徴
分解能0.204nm
加速電圧200kV

原子分解能分析電子顕微鏡 (Atomic-resolution analytical electron microscope )

設備ID
SH-003
設置機関
信州大学
設備画像
原子分解能分析電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-ARM200F NEOARM
仕様・特徴
分解能STEM-HAADF 0.078nm(200kV)
加速電圧 30、80、200kV
自動収差補正システム

光電子分光装置 (X-ray photoelectron spectroscopy)

設備ID
SH-004
設置機関
信州大学
設備画像
光電子分光装置
メーカー名
アルバックファイ (Ulvac Phi)
型番
QuanteraⅡ
仕様・特徴
ディユアルビーム方式帯電中和
絶縁物分析可能
分析領域:7.5μ~1.4mm

試料水平型強力X線回析装置 (X-ray diffractometer)

設備ID
SH-005
設置機関
信州大学
設備画像
試料水平型強力X線回析装置
メーカー名
リガク (Rigaku)
型番
SmartLab 9K
仕様・特徴
⾼フラックス9 kW回転対陰極X線発⽣装置
ハイブリッドピクセルアレイ検出器

飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time of flight secondary ion mass spectroscopy)

設備ID
SH-006
設置機関
信州大学
設備画像
飛行時間型二次イオン質量分析装置
メーカー名
TOF.SIMS5-ADSD-100 (ION-TOF)
型番
TOF.SIMS5-ADSD-100
仕様・特徴
高質量分解能パルス圧縮モード:最小スポット径600nm
高空間分解能モード:最小スポット径120nm
バーストモード:質量分解能と空間分解能を両立
µm2からcm2まで測定可能
深さ分解能 : 1nm 以下
質量分解能>11,000 @29u (FWHM)

複合ビーム加工観察装置 (Dual beam analysis system )

設備ID
SH-007
設置機関
信州大学
設備画像
複合ビーム加工観察装置
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4610F
仕様・特徴
FE-SEM 加速電圧 0.1~30kV
FIB 分解能4nm 加速電圧 1~30kV
Cryoオプション付き ピックアップシステム付き

オージェ電子顕微鏡 (Auger electron microscope)

設備ID
SH-008
設置機関
信州大学
設備画像
オージェ電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JAMP-9510
仕様・特徴
FE電子銃 加速電圧 0.5~30kV
静電半球アナライザ

レーザラマン分光装置 (Laser Raman Spectrometer)

設備ID
SH-009
設置機関
信州大学
設備画像
レーザラマン分光装置
メーカー名
レニショー (RENISHAW)
型番
inVa Reflex
仕様・特徴
シングルモノクロメーター、焦点距離250mm、明るさf/4
レーザ 532nm

リモート対応型電子線マイクロアナライザー (Remote-controlled electron probe microanalyzer)

設備ID
SH-010
設置機関
信州大学
設備画像
リモート対応型電子線マイクロアナライザー
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JXA-iHP200F
仕様・特徴
2次電子分解能 2.5nm
分析元素B~U
WDS:5基、EDS1基
最大試料100mm×100mm×50mm
加速電圧1~30kV
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