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200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2) (200kV field emission transmission electron microscope)

設備ID
NM-504
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
200kV電界放出形透過電子顕微鏡(JEM-2100F2)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100F2
仕様・特徴
・ショットキーFEG
・加速電圧: 100, 120, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線トモグラフィー

200kV透過電子顕微鏡 (200kV transmission electron microscope)

設備ID
NM-505
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
200kV透過電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-2100
仕様・特徴
・熱電子銃
・加速電圧: 80, 100, 120, 160, 200 kV
・TEM, STEM, EDS, EELS, 電子線トモグラフィー

2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー (Double-tilt bias and heating TEM holder)

設備ID
NM-506
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
2軸傾斜バイアス印加・加熱TEM試料ホルダー
メーカー名
DENSsolutions (DENSsolutions)
型番
Lightning
仕様・特徴
・加熱最大温度1300℃
・バイアス印可最大電圧150V

2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー (Double-tilt LN2 cryo TEM holder)

設備ID
NM-507
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
2軸傾斜液体窒素冷却TEM試料ホルダー
メーカー名
Gatan (Gatan)
型番
Gatan 636
仕様・特徴
・-160℃まで

走査型電子顕微鏡 (Field emission scanning electron microscope)

設備ID
NM-508
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
走査型電子顕微鏡
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JSM-7000F
仕様・特徴
・ショットキーFEG
・加速電圧: 30 kV
・分解能:1.2nm (30kV), 3.0nm (1kV)

デュアルビーム加工観察装置 (Dual Beam system)

設備ID
NM-509
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
デュアルビーム加工観察装置
メーカー名
日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies)
型番
NB5000
仕様・特徴
・FIB:加速電圧1~40 kV、最大電流50nA、倍率x600~
・SEM:加速電圧0.5~30kV、分解能1nm@15kV, 倍率x250~
・付属:マイクロサンプリング、STEM, EDS

FIB加工装置(JIB-4000) (Focused Ion Beam systems)

設備ID
NM-510
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FIB加工装置(JIB-4000)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JIB-4000
仕様・特徴
・FIB:加速電圧1~30 kV、最大電流60nA
・分解能:5nm (@30kV)

FIB加工装置(JEM-9320FIB) (Focused Ion Beam systems)

設備ID
NM-511
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FIB加工装置(JEM-9320FIB)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-9320FIB
仕様・特徴
・FIB:加速電圧5~30 kV、最大電流30nA
・分解能:6nm (@30kV)

FIB加工装置(JEM-9310FIB) (Focused Ion Beam systems)

設備ID
NM-512
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
FIB加工装置(JEM-9310FIB)
メーカー名
日本電子 (JEOL)
型番
JEM-9310FIB
仕様・特徴
・FIB:加速電圧5~30 kV、最大電流10nA
・分解能:8nm (@30kV)

ピックアップシステム (Pick-up System)

設備ID
NM-513
設置機関
物質・材料研究機構 (NIMS)
設備画像
ピックアップシステム
メーカー名
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型番
仕様・特徴
・大気中(FIB外)でガラスプローブを使ってTEMグリッド上へ固定
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