共用設備検索結果
赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1] (RTA [RTP-6 #1])
- 設備ID
- NM-646
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![赤外線ランプ加熱装置 [RTP-6 #1]](data/facility_item/1687416772_11.jpg)
- メーカー名
- アドバンス理工株式会社 (ADVANCE RIKO,Inc.)
- 型番
- RTP-6
- 仕様・特徴
- ・温度範囲：室温～1000℃
・加熱方式：赤外ゴールドイメージ炉、９ゾーン制御
・加熱性能：最大 10℃/s
・プロセスガス：N2, Ar+H2(3%), Ar, O2, 真空置換機能あり
・試料台材質・サイズ：SiCコートグラファイト、６インチφ または Si、６インチ
FE-SEM+EDX [S-4800] (FE-SEM+EDX [S-4800])
- 設備ID
- NM-647
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [S-4800]](data/facility_item/1687416823_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- S-4800
- 仕様・特徴
- ・加速電圧:0.5～30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能：1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：6インチ
・付加機能：EDX
FE-SEM+EDX [SU8000] (FE-SEM+EDX [SU8000])
- 設備ID
- NM-648
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [SU8000]](data/facility_item/1687416882_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- SU8000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 0.5～30kV ,
・最大倍率:800k
・検出器:SE/BSE
・分解能：1.0 nm (15 kV) , 1.3 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：4インチ
・付加機能：EDX
FE-SEM+EDX [SU8230] (FE-SEM+EDX [SU8230])
- 設備ID
- NM-649
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![FE-SEM+EDX [SU8230]](data/facility_item/1687416938_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- SU8230
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 0.5～30kV ,
・最大倍率:1,000k
・検出器:SE/BSE
・分解能：0.8 nm (15 kV) , 1.1 nm (1 kV)
・最大試料サイズ：6インチ
・付加機能：EDX
卓上電子顕微鏡 [TM3000] (Tabletop SEM+EDX [TM3000])
- 設備ID
- NM-650
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![卓上電子顕微鏡 [TM3000]](data/facility_item/1687416974_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation)
- 型番
- TM3000
- 仕様・特徴
- ・加速電圧: 5, 15kV ,
・検出器:BSE
・最大倍率: 10k
・最大試料サイズ：70mmΦ
・付加機能：EDX
走査型プローブ顕微鏡 [L-trace] (SPM [L-trace])
- 設備ID
- NM-651
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![走査型プローブ顕微鏡 [L-trace]](data/facility_item/1687417014_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社日立ハイテクサイエンス (Hitachi High-Tech Science Corporation)
- 型番
- L-trace
- 仕様・特徴
- ・測定モード：コンタクトAFM、タッピングAFM、摩擦力顕微鏡
・走査範囲：水平100 x 100 um
・最大試料サイズ： 6インチφ
・付加機能：I-V測定及びマッピング
走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5] (SPM [Nanoscope5])
- 設備ID
- NM-652
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![走査型プローブ顕微鏡 [Nanoscope5]](data/facility_item/1687417053_11.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- Nanoscope5
- 仕様・特徴
- ・測定モード： Contact AFM , Tapping AFM , MFM, Liquid-phase AFM
・走査範囲：17μ または 1.3μ
レーザー顕微鏡 [VK-9700] (Laser Microscope [VK-9700])
- 設備ID
- NM-653
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![レーザー顕微鏡 [VK-9700]](data/facility_item/1687417120_11.jpg)
- メーカー名
- 株式会社キーエンス (KEYENCE CORPORATION)
- 型番
- VK-9700
- 仕様・特徴
- 光源：408 nmバイオレットレーザー
対物レンズ倍率；10x, 20x, 50x, 150x
最大試料サイズ：φ4インチ
測定項目： Surface roughness, Height, Thickness of transparent film
触針式プロファイラー [Dektak 6M] (Surface Profilometer [Dektak 6M])
- 設備ID
- NM-654
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![触針式プロファイラー [Dektak 6M]](data/facility_item/1687417165_11.jpg)
- メーカー名
- ブルカージャパン株式会社 (Bruker Japan K.K.)
- 型番
- Dektak 6M
- 仕様・特徴
- ・垂直分解能：0.1 nm
・最大垂直測定幅：262 μm
・測定長さ：50 μm～30 mm
分光エリプソメーター [M2000] (Spectroscopic Ellipsometer [M2000])
- 設備ID
- NM-655
- 設置機関
- 物質・材料研究機構 (NIMS)
- 設備画像
![分光エリプソメーター [M2000]](data/facility_item/1687417245_11.jpg)
- メーカー名
- ジェー・エー・ウーラム・ジャパン株式会社 (J.A.Woollam Co., Inc.)
- 型番
- M2000
- 仕様・特徴
- ・波長範囲：250 ~ 1000 nm
・補償子：回転式
・入射角：自動制御、45～90°