データセット名：JAMP-9500FによるAESの角度分解測定データセット (280データ)
課題名：オージェ電子分光装置JAMP-9500Fによる参照オージェスペクトル
データセット登録者（所属機関）：OGIWARA,Toshiya（NIMS）
- 課題番号：
- JPMXP1224NM2201
- 実施機関：
- 物質・材料研究機構
要約
半球型電子分光器（CHA）を搭載したJEOL製オージェ電子分光装置（AES）JAMP-9500Fにより、Au, Cu, Si について電子線入射角をパラメータとして測定した角度分解オージェスペクトルである。試料法線からの角度を電子線入射角と定義し、Si については0度（垂直入射）から89度までの入射条件でスペクトルを測定した。Si KLLピーク（1619 eV）強度は電子線入射角に依存してその強度が著しく高くなると共に、スペクトルの非弾性散乱に起因するバックグランド強度が低くなることわかった。試料法線からの電子線入射角度を大きくすることでP/B比に優れたスペクトルが得られることを示すものである。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.12.17
- エンバーゴ解除日：
- 2024.12.11
- データセットID：
- 973a7952-e3f0-44a4-a664-8a2d5c65e726
- データタイル数：
- 280
- ファイル数：
- 1960
- ファイルサイズ：
- 188.02MB