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走査型オージェ電子分光分析装置

    走査型オージェ電子分光分析装置
    走査型オージェ電子分光分析装置
機器ID NM-208
分類 分光・表面分析 > オージェ電子分光
装置名称 走査型オージェ電子分光分析装置 (Scanning Auger Electron Microprobe (CHA Type AES))
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 精密計測実験棟111号室
メーカー名 日本電子 (JEOL)
型番 JAMP-9500F
キーワード 対象試料:主として金属、半導体物質、無機材料
分析用途:
・表面(nm〜μmオーダー)の定性分析、定量分析、化学状態分析、線分析など)
・試料深さ方向分析(試料表面から数百nmレンジ)
・試料断面分析(断面試料ホルダー利用)
・電子及びイオンの極低角度入射分析(傾斜試料ホルダー利用)
仕様・特徴 ・ショットキー電界放射電子銃
・空間分解能:<8 nm
・加速電圧:0.5~30 kV
・照射電流:0.1~100 nA
・測定元素:Li~U
・最大試料サイズ:14 x 14 x 5 mm
・半球型アナライザー搭載
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