データセット

データセット名:JAMP-9500FによるAESの一般測定データセット (1295データ)

課題名:オージェ電子分光装置JAMP-9500Fによる参照オージェスペクトル

データセット登録者(所属機関):OGIWARA,Toshiya(NIMS)

課題番号:
JPMXP1224NM2201
実施機関:
物質・材料研究機構

要約

半球型電子分光器(CHA)を搭載したJEOL製オージェ電子分光装置(AES)JAMP-9500Fにより、表面分析法で標準試料として用いられているAu, Ag, Cu を含め31の物質について測定した参照オージェスペクトル群である。電子線加速電圧およびその入射角、電子分光器のエネルギー分解能をパラメータとして取得したものであり、各種金属をはじめ、化合物半導体、酸化物など実用材料を測定したオージェスペクトルである。

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データメトリックス

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データインデックス

https://doi.org/10.71947/arim.jpmxp1224nm2201-1
登録日:
2024.12.17
エンバーゴ解除日:
2024.12.11
データセットID:
bc4e5fec-a32e-46b1-add5-5fa544ebe428
データタイル数:
1295
ファイル数:
9065
ファイルサイズ:
860.55MB

成果発表・成果利用