【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.04】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
23TU0134
利用課題名 / Title
マルチスペクトルイメージング用光学素子の開発
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
スパッタリング/ Sputtering,リソグラフィ/ Lithography,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device,光デバイス/ Optical Device,メタマテリアル/ Metamaterial
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
川嶋 貴之
所属名 / Affiliation
株式会社フォトニックラティス
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
柳村 光紀
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
森山 雅昭,庄子 征希,邉見 政浩
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術相談/Technical Consultation
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-001：エッチングチャンバー
TU-058：マスクレスアライナ
TU-160：自動搬送 芝浦スパッタ装置（加熱型）
TU-203：DeepRIE装置#3
TU-211：プラズマクリーナー
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
スペクトルイメージング用素子の開発のため、光学多層膜のパターニングプロセスの開発を行う。
実験 / Experimental
前年度の条件出しの結果を元に、レーザー描画装置を用いてパターニングを行った。次に、そのレジストパターンを用いてエッチングの条件出しを行った。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1に、エッチング後の最終的な光学多層膜の顕微鏡写真を示す。周期20 µmで市松模様のように2種類の光学多層膜が作成できた。この寸法はイメージセンサのサイズに合わせてあり、想定通りの構造ができていると考えられる。レジストのパターニングプロセス、エッチングプロセスも問題なく進んでおり、2種類の光学多層膜は想定通りの性能を示した。
今後は素子としての性能評価を進めていく予定である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 エッチング後の光学多層膜
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
参考文献等はありません。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件