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マスクレスアライナ

設備ID TU-058
分類 リソグラフィ > 光露光(マスクレス、直接描画)
装置名称 マスクレスアライナ (Maskless aligner)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 Heidelberg Instruments (Heidelberg Instruments)
型番 MLA150
キーワード 超高速直接描画(4インチ領域で約15分)、マスク作製(Cr、エマルジョン)、裏面アライメント機能
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~8インチ
波長:405nm 、375nm
最小描画線幅:1µm
    マスクレスアライナ
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