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プラズマクリーナー

設備ID TU-211
分類 表面処理・洗浄 > プラズマ処理
リソグラフィ > レジスト処理装置
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称 プラズマクリーナー (Plasma cleaner)
設置機関 東北大学
設置場所 東北大学西澤潤一記念研究センター 2Fクリーンルーム
メーカー名 ヤマト科学 (Yamato)
型番 PDC210
キーワード レジスト除去、表面改質
仕様・特徴 サンプルサイズ:小片~6インチ
基板固定方式:静置(温度制御不可)
プラズマ方式:CCP、バレル式
ガス:O2、Ar
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