【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.03.01】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NU0248

利用課題名 / Title

ポリイミド薄膜のドライエッチング加工

利用した実施機関 / Support Institute

名古屋大学 / Nagoya Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

膜加工・エッチング/ Film processing/etching,3D積層技術/ 3D lamination technology

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

福崎 雄介

所属名 / Affiliation

株式会社カネカ

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

鄭 惠貞 先生

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NU-217：リアクティブイオンエッチング装置
NU-230：段差計
NU-261：段差計

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ガラス上に製膜されたモノマ組成の異なるポリイミド樹指層について、ドライエッ チング加工を実施し、ドライエッチングレー トの差に違いがあるかを評価する。

実験 / Experimental

ガラス上に製膜されたポリイミド樹指層（膜厚2µm）に対して、ドライエッチングを実施（CF4 40sccm、O2 40sccm、2Ps、50W、2min）。その後、面内12か所の段差を測定した結果、水準①が142nm、水準②が128nmの結果であった。

結果と考察 / Results and Discussion

水準①に対して、水準②のドライエッチング速度が約10%低下していることが分かった。水準②のポリイミドは水準①のポリイミドと比較して、膜密度が約10%高く、膜密度が高くなることでドライエッチング速度が低下する傾向にあることが分かった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件