段差計

    段差計
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機器ID NU-230
分類 その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称 段差計 (Surface profiler)
設置機関 名古屋大学
設置場所 ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名 アルバック (ULVAC)
型番 Dektak150
キーワード 段差計
仕様・特徴 ・触針式
・垂直分解能:10nm
・測定距離:50 µm~55 mm
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