段差計

機器ID	NU-230
分類	その他分析装置 > 膜厚測定
装置名称	段差計 (Surface profiler)
設置機関	名古屋大学
設置場所	ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名	アルバック (ULVAC)
型番	Dektak150
キーワード	段差計
仕様・特徴	・触針式・垂直分解能：10nm ・測定距離：50 µm～55 mm

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