【公開日：2024.07.25】【最終更新日：2024.04.04】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

23NM0005

利用課題名 / Title

微細配線の作製

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,スパッタリング/ Sputtering,スピントロニクス/ Spintronics

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

岸田 裕司

所属名 / Affiliation

京セラ株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

吉田 翔太朗

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-660：マスクレス露光装置 [MLA150]
NM-608：スパッタ装置 [JSP-8000]
NM-609：電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
NM-626：触針式プロファイラー [Dektak XT-A]

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

AI, IoTの技術革新に伴って、各種センサーの研究開発が活発に行われており、なかでも磁気センサーは、従来、ホール 素子、TMR、MIなどの方式が知られており、実用化されている。このような背景で、我々はそれら従来の方式とは原理の 異なるセンサーの基本的な特性を確認したことから、その技術により従来用いられてこなかった分野や用途を新たに開拓することを狙いとして研究開発を進めている。この研究開発においては、主に薄膜の微細加工技術を用いて、センサー評価用の微細配線の作製を実施した。

実験 / Experimental

ガラス基板の洗浄、マスクレス露光機によるガラス基板上にパターニング、蒸着機（蒸着、スパッタ）を用いて成膜（材料：Ti/Au、50/300nm）、リフトオフ、パターン形状の評価。

結果と考察 / Results and Discussion

顕微鏡、膜厚計で評価を実施。顕微鏡により、ガラス基板上にパターン形状ができていることを確認（図１）。膜厚計により、約300nmの成膜を確認。結果、パターン形状、膜厚から微細配線のパターニングは実施できたと判断した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1,微細配線

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件