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電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]

設備ID NM-609
分類 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称 電子銃型蒸着装置 [ADS-E86] (EB Evaporator [ADS-E86])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS千現地区 材料信頼性実験棟
メーカー名 アールデック (R-DEC)
型番 ADS-E86
キーワード 蒸着、薄膜、金属、リフトオフ、電子銃、EB、蒸着(抵抗加熱、電子線)/ Evaporation (resistance heating and electron beam)
仕様・特徴 ・用途:自動金属薄膜形成
・蒸着方式:電子銃型
・ターゲット:Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt
・到達真空度:10-5 Pa
・TS間距離:500 mm
・最大試料サイズ:φ8inch
・その他:ロードロック式、水冷式試料ステージ
    電子銃型蒸着装置 [ADS-E86]
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