【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.16】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22BA0012
利用課題名 / Title
プレーナー型マイクロ波共振器および光センサーの作製
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光学顕微鏡/Optical microscopy,走査プローブ顕微鏡/Scanning probe microscopy,リソグラフィ/Lithography,ワイドギャップ半導体/ Wide gap semiconductor
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
野村 晋太郎
所属名 / Affiliation
筑波大学
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
梅本篤宏,東 勇佑,尾崎 友哉,高瀬 皓介
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
BA-009：パターン投影リソグラフィシステム
BA-007：ウェハーダイシングマシン
BA-024：ワイヤボンダー
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
プレーナー型マイクロ波共振器および光センサーの作製を目的とした。そのために、シリコンウエハー切断のためにダイシングマシーン、パターンニングのためにパターン投影リソグラフィシステム、電極配線のためにパッケージング装置を使用した。
実験 / Experimental
シリコン基板をウエハダイシングマシン(DAD322, DISCO)を用いて切断したのち，アセトン，プロパノール，純 水でそれぞれ超音波洗浄を行った。シリコン基板をスピンコーター(Mikasa)にセットし，フォトレジストをスピンコートした。パターン投影リソグラフィシステム(μPG501, Heidelberg instruments)を用いてマイクロ波共振器、光センサー電極構造を描画した。現像後、真空蒸着装置で金属膜を形成した。リフトオフを行い、マイクロ波共振器構造と光センサー用電極構造を作製した。ワイヤボンダー(7476D, WEST BOND)を用いて、配線を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
Fig. 1にリフトオフ後のマイクロ波共振器構造の光学顕微鏡像を示す。設計通りにリフトオフされていることがわかる。作製されたマイクロ波共振器構造と光センサー用電極構造の高周波特性をベクトルネットワークアナライザ、DC特性をソースメータで評価した。当初設計どおりの特性が示されていることが確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Optical microscope image of a microwave resonator structure.
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Extended Abstracts of the 2022 International Conference on Solid State Devices and Materials, Makuhari, 2022, pp195-196
- 梅本篤宏, 野村晋太郎, 飯田崇史, 吉野将生, 「暗黒物質方向探索実験のためのダイヤモンド検出器の研究」日本物理学会 2022年秋季大会 6pA562-7 (2022年9月6日（火）〜8日（木）岡山理科大学岡山キャンパス)
- 東 勇佑, 渡邊 幸志, 柏谷 聡, 野村 晋太郎、「ダイヤモンド NV 中心 15N 核スピンダイナミクスの静磁場角度依存性」第32回量子情報関東Student Chapter、（2022年 10月21日(金) 横浜国立大学）
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件