【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.04.25】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22TU0008
利用課題名 / Title
マイクロポンプの開発 / Development of micropump
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
接合・接着, ウェットエッチング,リソグラフィ/Lithography,膜加工・エッチング/Film processing and Etching,MEMSデバイス
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
上野 明
所属名 / Affiliation
株式会社マイクロジェット
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
TU-251：SUSS ウェハ接合装置
TU-056：両面アライナ
TU-158：芝浦スパッタ装置（加熱型）
TU-058：マスクレスアライナ
TU-060：現像ドラフト
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
液体吐出を行う小型で流路視認性が良いマイクロポンプを作製するためには、特性を発揮するPZT貼り付け用の薄膜振動板を有する小型流路、そして光透過性の良い部材を用いることが重要である。今回、液体吐出可能なマイクロポンプ作製を目指し、東北大学設備を利用して視認性が良く流路寸法が異なるマイクロ流路の作製を検証した。
実験 / Experimental
TMAHを用いたウェットエッチングによってSiウェハ両面に50 µm以上の深さを持つ流路を作製した。作製したSiウェハを、視認性を向上させる目的でガラスと陽極接合した。
結果と考察 / Results and Discussion
作製した各マイクロ流路を接着し、マイクロポンプとなるチップを作製した。作製チップを自社設備に組み込み、水や各種溶媒の吐出を実施した。作製したマイクロポンプは動作し、水の吐出を確認できた。Fig. 1に観察した吐出状態を示す。 今後は長期動作による信頼性確保を目的に加工プロセスを改良する必要である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig. 1 Jetting state(50 pl) of water from the micropump (scale bar shows 500 μm).
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
設備利用や試作開発にあたり、戸津先生（東北大学）や森山先生（東北大学）そして試作コインランドリースタッフの方々には多数ご助言いただきました。ここに感謝いたします。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件