【公開日：2023.07.28】【最終更新日：2023.05.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
22HK0090
利用課題名 / Title
遷移金属酸化物薄膜の構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
北海道大学 / Hokkaido Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/Electron microscopy,集束イオンビーム/Focused ion beam,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
迫田 將仁
所属名 / Affiliation
北海道大学 大学院工学研究院 応用物理部門
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
遠堂敬史,澤厚貴,森有子,平井直美
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術代行/Technology Substitution
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
HK-401：収差補正走査型透過電子顕微鏡
HK-304：集束イオンビーム加工・観察装置
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
Extraordinary size effectを発現する遷移金属酸化物CaRuO3薄膜の断面観察を目的とした。
実験 / Experimental
収束イオンビーム加工観察装置(HK-304)を用いて、STEM用断面観察試料の作製を行った。収差補正型走査透過電子顕微鏡(HK-401)にて高倍率観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
FIBによる加工で厚さ１００ナノメートル以下のTEM観察に理想的なサンプルを準備することができた。また、高解像度のSTEMにより、従来観測が難しいとされてきた酸素原子を捉えることができた。これにより、酸素原子の位置が電気抵抗に与える性質を調べた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- M. Sakoda*, M. Kouda, K. Shinya, and S. Shimoda, “Enhancement of extraordinary size effect on CaRuO3 ultrathin films”, Adv. Electron. Mater., accepted.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件