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NM-661|電子ビーム描画装置 [JBX-8100FS]|物質・材料研究機構
メーカー名：日本電子（JEOL）
型番：JBX-8100FS
リソグラフィ、描画、露光、電子ビーム、EB、パターニング
世界最高水準の加速電圧200kVの電子ビーム描画装置。
まだ世界でも数台しかない最先端装置をARIMで利用できます。
200kVが叶える超微細加工技術で成果創出をサポートします。
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UT-156｜集束イオンビーム加工観察装置（FIB）｜東京大学
メーカー名：日本電子株式会社（JEOL Ltd.）
型番：JIB-PS500i
試料作製、薄膜作製、断面試料、3D画像、電子顕微鏡、半導体、セラミックス、SEM、FIB、TEM、STEM
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NI-020｜ICP発光分光分析装置｜名古屋工業大学
メーカー名：島津サイエンス（Shimadzu Corporation）
型番：ICPE-9820
対象試料（無機物、酸溶解溶液）、 分析用途（元素分析（多元素同時測定、71元素対応、定性・定量対応））
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KT-408｜デュアルビーム走査電子顕微鏡｜京都大学
メーカー名：日本電子（JEOL）
型番：JIB-4700F
対象試料（無機物・有機物）、用途（TEM試料作製、SEM-EDS分析、SEM-EBSD分析）
FIB/SEM 一体型で加工・観察を行える装置です。SEM像による形態観察とGa イオンビーム加工により、TEM試料の薄片化をすることができます。またEDSによる元素分析、EBSDによる方位分析が可能です。表面を削りながら観察することによる3D分析が可能です。
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KT-409｜クライオイオンスライサ―｜京都大学
メーカー名：日本電子（JEOL）
型番：IB-09060CIS
対象試料（無機物・有機物）、用途（TEM試料作製）
TEM/SEM 用断面試料作製、アルゴンイオンビームによる断面加工を行う装置です。FIBのような複雑な形状の加工は出来ませんが、0.1 mm 厚の試料版からTEM試料作製することが可能です。また、FIB試料の仕上げ加工に使用することもできます（専用のメッシュが必要です）。液体窒素温度での低温加工も可能です。
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