データセット

データセット名:MLA150におけるフォーカスの再現性とフォーカスシフトの検証

課題名:レジスト断面形状と露光フォーカス再現性の検証

データセット登録者(所属機関):東北大 古林(東北大学)

課題番号:
JPMXP1223TU0203
実施機関:
東北大学

要約

MLA150で露光量とフォーカスを振った際の各種フォトレジスト1:1L/Sの断面形状を観察した。同じレジストでも1年前と比べフォーカスがマイナス側にあったことから、フォーカスシフトの検証を行ったもの。MLA150のニューマチックフォーカスはシフトするため再現性はあまり得られない。このため、塗布したレジストの膜厚以下、あるいは装置限界に近いシビアなパターンが要求される場合には、露光直前にフォーカス確認をしたほうが良い。一方、フォーカスを変えることで、テーパー角をコントロールし、レジスト断面形状の標準化が可能となる。

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キーワード・タグ

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データメトリックス

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データインデックス

登録日:
2024.03.18
エンバーゴ解除日:
2024.03.15
データセットID:
2a85a523-3e3e-413c-8aa1-245f3837294c
データタイル数:
4
ファイル数:
ファイルサイズ:
61.3MB

装置・プロセス

成果発表・成果利用