データセット

レジスト断面形状と露光フォーカス再現性の検証

データセットID

2a85a523-3e3e-413c-8aa1-245f3837294c

ファイルサイズ

64272992

データ数

4

課題番号

JPMXP1223TU0203

サブタイトル

MLA150におけるフォーカスの再現性とフォーカスシフトの検証

エンバーゴ期間終了日

2024-03-15 03:00

開設日時

2024-03-06 07:53

データセット

申請者:東北大 古林 所属:東北大学

装置名

[FDL] Lithography

タグ

MLA150,フォトレジスト,フォーカス,断面形状,リソグラフィ

要約

MLA150で露光量とフォーカスを振った際の各種フォトレジスト1:1L/Sの断面形状を観察した。同じレジストでも1年前と比べフォーカスがマイナス側にあったことから、フォーカスシフトの検証を行ったもの。MLA150のニューマチックフォーカスはシフトするため再現性はあまり得られない。このため、塗布したレジストの膜厚以下、あるいは装置限界に近いシビアなパターンが要求される場合には、露光直前にフォーカス確認をしたほうが良い。一方、フォーカスを変えることで、テーパー角をコントロールし、レジスト断面形状の標準化が可能となる。

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