データセット名:MLA150におけるフォーカスの再現性とフォーカスシフトの検証
課題名:レジスト断面形状と露光フォーカス再現性の検証
データセット登録者(所属機関):東北大 古林(東北大学)
- 課題番号:
- JPMXP1223TU0203
- 実施機関:
- 東北大学
要約
MLA150で露光量とフォーカスを振った際の各種フォトレジスト1:1L/Sの断面形状を観察した。同じレジストでも1年前と比べフォーカスがマイナス側にあったことから、フォーカスシフトの検証を行ったもの。MLA150のニューマチックフォーカスはシフトするため再現性はあまり得られない。このため、塗布したレジストの膜厚以下、あるいは装置限界に近いシビアなパターンが要求される場合には、露光直前にフォーカス確認をしたほうが良い。一方、フォーカスを変えることで、テーパー角をコントロールし、レジスト断面形状の標準化が可能となる。
キーワード・タグ
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データメトリックス
- ページビュー:
- 2845
- ダウンロード数:
- 4
データインデックス
- 登録日:
- 2024.03.18
- エンバーゴ解除日:
- 2024.03.15
- データセットID:
- 2a85a523-3e3e-413c-8aa1-245f3837294c
- データタイル数:
- 4
- ファイル数:
- ファイルサイズ:
- 61.3MB
装置・プロセス