データセット

深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察

データセットID

bafe2f9d-08e3-42f9-92b2-d9ce7b05e4b2

ファイルサイズ

1338085

データ数

1

課題番号

JPMX1223KT1196

サブタイトル

深堀エッチング加工表面のウエハプロファイラ観察(VSIモード)

エンバーゴ期間終了日

2024-02-07 03:00

開設日時

2024-02-07 01:29

データセット

申請者:海津 利行 所属:京都大学
申請者:Isahaya Nobuaki 所属:京都大学

装置名

ウエハプロファイラ

タグ

要約

4インチSiウエハに両面マスクアライナを用いて京都大学のロゴマークのパターニングを行い、深堀ドライエッチング加工した表面をウエハプロファイラの垂直走査干渉(VSI)モードで観察した。

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