データセット

レジストの形状観察

データセットID

43f8fa42-7b5f-48d3-83b3-cbac570bf1c2

ファイルサイズ

99245472

データ数

10

課題番号

JPMXP1222TU0157

サブタイトル

各種フォトレジストL / S (ライン&スペース)のMLA150露光条件最適化

エンバーゴ期間終了日

2024-01-18 03:00

開設日時

2024-01-18 06:06

データセット

申請者:東北大 古林 所属:東北大学

装置名

[FDL] Lithography

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要約

マスクレスアライナMLA150(Heidelberg Instruments製)には、露光量とフォーカスを一定間隔で同時に振り、最適露光量とベストフォーカスを調べるSeries機能がある。MLA150を露光装置としてリソグラフィーを行い、FE-SEMでレジスト膜厚付近のL/S断面形状を観察し、OFPR、TCIR、TSMR、PMER、ZPNの最適露光量とベストフォーカスの検証を行った。

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