産業技術総合研究所_共用施設_ナノプロセシング施設_原子層堆積装置_3[FlexAL]は、８種類の反応ガス及び組成分析用in-situ XPS及び膜厚計測用 in-situ 分光エリプソを装備した試料サイズ:4インチφの原子層堆積装置です。今回2022年度のスタッフデータとしてRu表面のSiN材料吸着過程、Al2O3表面のSiO2材料吸着過程及びCu表面酸化膜表面処理、水素プラズマによるRu表面の酸化膜除去表面処理などのin-situ XPS分析評価データ、又AlN/Si単層膜の温度依存性詳細レシピデータ及びその評価データ（GPC、XPS組成、D-SIMS成分分析）を紹介します。