データセット名：半導体表面反応のリアルタイムXPS観察
課題名：AE-001ショーケースJJAP
データセット登録者（所属機関）：Yasutaka Tsuda（日本原子力研究開発機構）
- 課題番号：
- JPMXP1223AE5001
- 実施機関：
- 日本原子力研究開発機構
要約
清浄化したSi(001)試料を酸素ガスにより酸化した。酸化が進み、試料表面近傍の化学状態が変化する様子を放射光光電子分光によりリアルタイムで測定した。
キーワード・タグ
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データメトリックス
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データインデックス
- 登録日：
- 2024.09.04
- エンバーゴ解除日：
- 2024.02.14
- データセットID：
- eba00ed9-bfbe-497f-b2a2-3508d0754b77
- データタイル数：
- 1
- ファイル数：
- ファイルサイズ：
- 17.95MB